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MKSinst等離子電源
  • MKSinst等離子電源

貨物所在地：浙江杭州市

所在地： 美國

更新時間：2024-05-07 21:00:05

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ENI? 提供高可靠的固態(tài)電源，其頻率從 1MHz 到 60MHz， 功率從 3 百瓦至 13千瓦，還可選自動頻率調(diào)諧，廣泛地應(yīng)用于 Etch， CVD 和 PVD等工藝。

MKSinst Instruments-等離子體電源

等離子體電源用于晶圓工藝

ASTeX® 等離子體電源 廣泛應(yīng)用于 CVD ， ETCH ，去膠等晶圓工藝。

  • R*evolution® - AX7690 集成遠程等離子體源用于晶圓工藝
  • AX2600 集成等離子體系統(tǒng)
  • SmartPower® - AX2500 系列微波電源
  • ASTeX® – AX7610 下游等離子體源

 

臭氧發(fā)生器

SEMOZON® 臭氧發(fā)生器及集成系統(tǒng)， LIQUOZON® 臭氧水循環(huán)系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于 CVD ，去膠和濕法清洗等工藝。

  • O3MEGA® AX8561 臭氧發(fā)生器集成系統(tǒng)
  • SEMOZON® AX8500 系列臭氧發(fā)生器集成系統(tǒng)
  • SEMOZON® AX8400 系列臭氧發(fā)生器
  • LIQUOZON® Smart 臭氧水遞送系統(tǒng)。提供高濃度、大流量臭氧水
  • LIQUOZON® Single 臭氧水遞送系統(tǒng)。緊湊型設(shè)計，適合于單片硅片清洗系統(tǒng)
  • LIQUOZON® LoopO3 臭氧水循環(huán)遞送系統(tǒng)。緊湊型設(shè)計，帶循環(huán)水泵，主要用于硅片清洗工藝
  • LIQUOZON® 100 和 XF 臭氧水遞送系統(tǒng)

 

射頻功率電源

ENI® 提供高可靠的固態(tài)電源，其頻率從 1MHz 到 60MHz， 功率從 3 百瓦至 13千瓦，還可選自動頻率調(diào)諧，廣泛地應(yīng)用于 Etch， CVD 和 PVD等工藝。

  • 中頻射頻功率電源 （1-4MHz）
    • NOVA® 系列，功率為 2.5 千瓦和 5千瓦，自動頻率調(diào)諧可選。
    • Spectrum® 系列，功率從 5千瓦至 11千瓦，自動頻率調(diào)諧可選。
  • 高頻射頻功率電源 （13.56MHz）
    • GHW 系列電源，功率從 1.5 千瓦至 5 千瓦，自動頻率調(diào)諧可選。
    • Spectrum® 系列電源，功率從 1.5 千瓦至 10.5 千瓦，自動頻率調(diào)諧可選。
    • SurePower® 系列電源，功率從 1.5 千瓦至 13 千瓦，自動頻率調(diào)諧可選。
  • 超高頻射頻功率電源 （27.12-60MHz）：
    • GEW 系列電源，功率從 1.5 千瓦至 3千瓦，自動頻率調(diào)諧可選。

 

直流/脈沖功率電源

ENI® 直流/脈沖電源主要應(yīng)用于半導(dǎo)體，光電器件，磁盤，平板顯示器等工業(yè)中的鍍膜工藝。

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