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當(dāng)前位置：> 供求商機(jī)> 殘余氣體分析儀（四極質(zhì)譜儀）
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| ·I100－，200－，和300－amu系統(tǒng)帶法拉第杯或電子倍增器/法拉第杯的組合。 |
| ·改進(jìn)的氫檢測(cè)。 |
| ·與原始的Transpector相比訊噪比提高10倍 |
| ·快速掃描低值訊號(hào) |
| ·個(gè)量級(jí)的電子學(xué)動(dòng)態(tài)量程 |
| ·用于單傳感器和多傳感器系統(tǒng)的軟件選件 |
| ·分壓測(cè)量從1×10-4乇至2×10-14乇 |
| Transpector 2 是基于四極場(chǎng)的智能傳感器，全部傳感器電子驅(qū)動(dòng)加上微處理器安裝在一個(gè)附在傳感器上的小型、輕便的密閉匣內(nèi)。由于它是智能的傳感器，具有相當(dāng)?shù)撵`活性，您可以使用當(dāng)前的計(jì)算機(jī)或從INFICON選購(gòu)PC和軟件包。兩種通訊鏈接，RS232用于單傳感器，RS485用于多傳感器配置，將Transpector2 連接控制計(jì)算機(jī)。簡(jiǎn)單的指令協(xié)議支配全部Transpector功能。 |
RGA 應(yīng)用（主要用途）
* 檢漏
* 真空設(shè)備本底狀況鑒定
* 在線工藝氣體監(jiān)測(cè)分析
* 檢漏
- 真空系統(tǒng)泄漏（內(nèi)漏,外漏）
- 可設(shè)置報(bào)警點(diǎn),實(shí)現(xiàn)報(bào)警功能
- 與氦質(zhì)譜檢漏儀的區(qū)別:
| | RGA | 氦質(zhì)譜檢漏儀 |
| 示漏氣體 | 氦氣或其他任何示漏氣體 | 氦氣 |
| 可檢漏類型 | 內(nèi)漏,外漏 | 外漏 |
| 顯示 | TWare32軟件檢漏模式/監(jiān)控模式 （離子流/分壓強(qiáng)） | 顯示面板（漏率） |
* 真空系統(tǒng)本底狀態(tài)鑒定
在系統(tǒng)達(dá)到極限真空時(shí)測(cè)定殘余氣體的種類和量值
* 真空系統(tǒng)污染監(jiān)測(cè)和控制
清洗介質(zhì)殘留,返油（碳?xì)浠衔?/span>）,表面放氣（空氣, H2O, O2, CO, CO2）
通過軟件中的標(biāo)準(zhǔn)氣體庫(kù),可確定氣體成分.
* 真空工藝監(jiān)控
- 在線監(jiān)控:實(shí)時(shí)反映工藝異?；蚱?/span>
- 數(shù)據(jù)按時(shí)間自動(dòng)存儲(chǔ)（SOD文件）以便
日后追溯進(jìn)行工藝分析
- 繼電器輸出可用于控制閥門
- 模擬輸出可連線PLC
* 鍍膜工藝研究開發(fā)
各種工藝氣體的相對(duì)比例對(duì)工藝/產(chǎn)品的影響
RGA的選用 - 為您的鍍膜機(jī)選擇合適的RGA
* zui小可檢分壓強(qiáng)（MDPP）
法拉第杯（FC）: 3 x 10-13 Torr
電子倍增器（EM）+法拉第杯（FC）:10-14~10-15 Torr
* 質(zhì)量數(shù)（AMU）
取決于需要探測(cè)的氣體
100AMU傳感器 探測(cè)范圍: 1-100AMU
200AMU傳感器 探測(cè)范圍: 1-200AMU
300AMU傳感器 探測(cè)范圍: 1-300AMU
絕大多數(shù)工業(yè)應(yīng)用僅需100AMU傳感器
* 工作壓強(qiáng)范圍
- 標(biāo)準(zhǔn)RGA: < 5 x 10-4 Torr
- 高壓強(qiáng)型XPR3: < 1 x 10-2 Torr
- 若需在更高壓強(qiáng)下工作, 須使用取樣系統(tǒng)（IPC400）
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