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杭州太昊科技有限公司
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INFICON UL1000--氦檢漏儀
  • INFICON UL1000--氦檢漏儀

貨物所在地:浙江杭州市

地: 瑞士

更新時間:2024-11-13 15:03:23

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( 聯(lián)系我們,請說明是在 化工儀器網(wǎng) 上看到的信息,謝謝?。?/p>

INFICON(瑞士英??? UL1000移動式氦檢漏儀專門設(shè)計用于滿足苛刻的工業(yè)檢漏要求:具有耐用性強、測試靈活性好、靈敏度高、啟動快,響應(yīng)精確迅速,系統(tǒng)安可靠等特點。

   UL1000符合微電子 工業(yè)生產(chǎn) 的要求。從堅固的金屬外殼 到方便移動 滾輪 ,至 I·C AL, 用于消除在10 -11 至10 -12 超高靈敏漏率范圍中長平衡時間 的運算法則,都無不顯示了其的*性。

  系統(tǒng)軟件包含帶有故障查找指令的*自診斷程序。并可調(diào)用防止氦氣或工藝氣體污染的保護性功能。UL1000的通風系統(tǒng)不會干擾通常清潔室中從天花板至地面的空氣流動。渦輪分子泵的抽速和壓縮比可降低并消除氦污染。

    UL1000具有可轉(zhuǎn)動的控制界面,裝在儀器商的顯示器用十分清楚的大型字體顯示測量結(jié)果于狀態(tài)信息,這樣可遠距離方便地觀察讀值。 通過更新軟件,新的固件可通過標準接口在數(shù)分鐘內(nèi)完成安裝。

    

應(yīng)用:

半導體工藝設(shè)備的維護,該設(shè)備本身帶或未帶有渦輪分子泵

工藝氣體系統(tǒng)的檢測與安裝

元器件在組裝前的漏率測試

要求高抽速、高靈敏度以及清潔測試條件的應(yīng)用場合

 

技術(shù)參數(shù)

zui小可檢漏率(按AVS2.1和EN1518標準)

<5×10 -12 mbar.l/s

zui小可檢漏率(吸槍模式)

<3×10 -8 mbar.l/s

入口壓強                粗檢模式

                        精檢模式

                        超精檢模式

15 mbar

2 mbar

0.4 mbar

抽泵抽速

16-25立方米/小時

氦氣抽速(進氣口處)    粗檢模式

                        精檢模式

                        超精檢模式

8 升/秒

7升/秒

2.5升/秒

可檢質(zhì)量數(shù)

2、3、4amu, 氫, 3 氦,氦

電源電壓

110-120V;220-240V

重量

110公斤;242磅

尺寸,包括手把(長×寬×高)

1068×525×850毫米

 

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