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UL1000氦檢漏儀

    INFICON（瑞士英?？担?font face="宋體"> UL1000移動式氦檢漏儀專門設(shè)計用于滿足苛刻的工業(yè)檢漏要求：具有耐用性強、測試靈活性好、靈敏度高、啟動快，響應(yīng)精確迅速，系統(tǒng)安可靠等特點。

     UL1000符合微電子工業(yè)生產(chǎn)的要求。從堅固的金屬外殼到方便移動的滾輪，至I·CAL, 用于消除在10^-11至10^-12超高靈敏漏率范圍中長平衡時間的運算法則，都無不顯示了其的*性。

     系統(tǒng)軟件包含帶有故障查找指令的*自診斷程序。并可調(diào)用防止氦氣或工藝氣體污染的保護性功能。UL1000的通風(fēng)系統(tǒng)不會干擾通常清潔室中從天花板至地面的空氣流動。渦輪分子泵的抽速和壓縮比可降低并消除氦污染。

     UL1000具有可轉(zhuǎn)動的控制界面，裝在儀器商的顯示器用十分清楚的大型字體顯示測量結(jié)果于狀態(tài)信息，這樣可遠距離方便地觀察讀值。通過更新軟件，新的固件可通過標準接口在數(shù)分鐘內(nèi)完成安裝。