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邁可諾技術(shù)有限公司

主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī)

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勻膠機(jī)/勻膠旋涂?jī)x

濕法刻蝕顯影清洗系統(tǒng)

掩膜曝光光刻機(jī)

狹縫涂布儀

烤膠機(jī)/熱板

納米壓印光刻機(jī)

快速退火爐

紫外固化機(jī)/紫外固化箱

紫外臭氧清洗機(jī)

等離子清洗機(jī)

等離子去膠機(jī)

超聲波清洗機(jī)

探針臺(tái)

光學(xué)膜厚儀

原子層沉積系統(tǒng)

壓片機(jī)/液壓機(jī)

制樣機(jī)

手持式表面分析儀

接觸角測(cè)角儀

程序剪切儀

顯微鏡檢測(cè)系統(tǒng)

干冰清洗機(jī)

注射泵

環(huán)氧樹脂

光學(xué)試劑

韓國(guó)波導(dǎo)樹脂

鈣鈦礦材料

光刻膠

  • 碳紙

    • 防潮箱

    馬弗爐

    培養(yǎng)箱

    蠕動(dòng)泵

    熱循環(huán)儀

    離心機(jī)

    手套箱

    天平

    鍵合機(jī)

    紫外交聯(lián)儀

    膜厚監(jiān)測(cè)儀

    離子濺射儀

    攪拌脫泡機(jī)

    橢偏儀

    自動(dòng)涂膜器

    分光光度計(jì)

    點(diǎn)膠機(jī)

    噴涂機(jī)

    晶圓片

    密度測(cè)試儀

    臨界點(diǎn)干燥儀

    光譜儀

    太陽(yáng)光模擬器

    干燥機(jī)

    Norland膠水

    真空回流焊爐

    過濾器

    切割機(jī)

    電鏡耗材

    Alconox清潔劑

    有機(jī)光伏材料

    鈣鈦礦界面材料

    Rondol擠壓機(jī)

    切割設(shè)備

    超聲波細(xì)胞粉碎機(jī)

    低溫水循環(huán)

    水浴油浴

    蒸發(fā)器

    凍干機(jī)

    剝離器

    紫外掩膜曝光系統(tǒng)

    涂布機(jī)

    恒電位儀

    源測(cè)量單元

    太陽(yáng)能電池IV測(cè)試系統(tǒng)

    太陽(yáng)模擬器

    LED測(cè)量系統(tǒng)

    顯微鏡

    干燥箱

    霍爾效應(yīng)測(cè)試儀

    芯片熱管理分析系統(tǒng)

    滅菌鍋

    公司信息

    聯(lián)系人：
    鄧經(jīng)理
    電話：
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    [供應(yīng)]PE-100-美國(guó)進(jìn)口RIE等離子刻蝕機(jī)
    PE-100-美國(guó)進(jìn)口RIE等離子刻蝕機(jī)
    貨物所在地：
    北京北京市
    產(chǎn)地：
    美國(guó)
    更新時(shí)間：
    2025-02-05 09:07:33
    有效期：
    2025年2月5日--2025年8月6日
    已獲點(diǎn)擊：
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    【簡(jiǎn)單介紹】儀器介紹
    Plasma Cleaner為單一制程處理腔體，使用*之平板式電漿技術(shù)，與整合型
    多重電漿源機(jī)構(gòu)所設(shè)計(jì)的電漿制程機(jī)臺(tái)，適用于各種干式清潔與表面處理制程，以及殘留光阻去除等制程應(yīng)用。在半導(dǎo)體與光電產(chǎn)業(yè)之干式電漿制程中提供高駕動(dòng)率、低營(yíng)運(yùn)成本之特性。
    【詳細(xì)說明】

        臺(tái)式小型機(jī)，PLC人機(jī)自動(dòng)控制，簡(jiǎn)單易用，適用于實(shí)驗(yàn)室及小批量工業(yè)生產(chǎn)中材料表面清洗、蝕刻、活化等工藝。

    提供三種功能配置：
    1. 常規(guī)的等離子清洗和等離子刻蝕
    2. 反應(yīng)離子刻蝕（RIE）
    3. 可轉(zhuǎn)換結(jié)構(gòu)（包含可以進(jìn)行各向同性和各向異性的等離子工藝）可拆卸的托盤構(gòu)造。

    等離子刻蝕機(jī)技術(shù)參數(shù)：
    設(shè)備型號(hào)：PE-100
    腔體尺寸：長(zhǎng)方形腔體，長(zhǎng)度305 x深度368 x高度305mm；
    腔體材質(zhì)：T-6鋁合金一體成型；
    腔體容積：34升；
    射頻電源：13.56MHz；0~300W自動(dòng)調(diào)節(jié)；
    工作壓力范圍：1-2000 mT；
    氣體流量控制：0-50cc/min帶精密針閥；
    皮拉尼真空計(jì)： 0-1Torr；



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