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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品: 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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聯(lián)系電話
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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品: 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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德國Micro Resist公司創(chuàng)立于1993年.公司生產(chǎn)的高性能各種用于微納制作的光刻膠,除了生產(chǎn)用于i、g和h線的光刻膠以外,還有電子束刻蝕膠和納米壓印膠以及專門用于光學(xué)波導(dǎo)制作的光膠可供選擇。
ma-N 2400系列
電子束和深紫外曝光
電子束和深紫外靈敏;非常適合作為刻蝕掩模,*的抗干刻、濕刻性能;膠圖案良好的熱穩(wěn)定性;優(yōu)異的圖案分辨率-50 nm以下;堿性水溶液下顯影;
mr-EBL 6000
電子束曝光
電子束和深紫外靈敏;非常適合作為刻蝕掩模,*的抗干刻、濕刻性能;光膠圖案良好的熱穩(wěn)定性;優(yōu)異的圖案分辨率-80 nm以下;堿性水溶液下顯;