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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品: 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
會(huì)員.png)
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主營產(chǎn)品: 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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R50電阻率測量儀
R50電阻率測量儀 Filmetrics R50系列提供接觸式四點(diǎn)探針(4PP)和非接觸式渦流(EC)測量。電動(dòng)X-Y載物臺(tái)可額外使用定制樣品架,樣品測量可達(dá)300mm的,可測量面積可達(dá)200mm。
Filmetrics R50系列提供接觸式四點(diǎn)探針(4PP)和非接觸式渦流(EC)測量。
R50系列
· 四點(diǎn)探頭和渦流探測系統(tǒng)
· 以矩形,線性,極性和自定義配置
· X-Y行程可達(dá)200mm
· 在導(dǎo)體和半導(dǎo)體薄膜上測量方塊電阻的范圍較大
· 接觸式和非接觸式測量
標(biāo)準(zhǔn)功能
· 具有以下功能的自動(dòng)X-Y平臺(tái):
100mm x 100mm行程
200mm x 200mm行程(-200型號(hào))
· 100mm Z載物臺(tái)行程
· 傾斜臺(tái),行程+/-5o
· 不限數(shù)量的測量樣本圖中的位置
RsMapper軟件:
測量自動(dòng)化地圖模式生成器,內(nèi)置的地圖模式生成器使您輕松生成需要測量的斑點(diǎn)圖案樣品的相關(guān)區(qū)域,從而節(jié)省了數(shù)據(jù)采集期間的時(shí)間。
這只是您可以使用的一些參數(shù)。
進(jìn)行調(diào)整以自定義地圖的屬性:
· 圓形或正方形地圖
· 徑向或矩形圖案
· 中心或邊緣排除
· 點(diǎn)密度