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天津港東科技股份有限公司>> SGC-10薄膜測厚儀

SGC-10薄膜測厚儀

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  • SGC-10薄膜測厚儀
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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號
  • 品牌 港東科技
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 天津市
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更新時間:2018-04-25 07:33:31瀏覽次數(shù):1316

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產(chǎn)品簡介

SGC-10薄膜測厚儀,適用于介質(zhì),半導(dǎo)體,薄膜濾光片和液晶等薄膜和涂層的厚度測量。該薄膜測厚儀,是我公司與美國new-span公司合作研制的,采用new-span公司*的薄膜測厚技術(shù),基于白光干涉的原理來測定薄膜的厚度和光學(xué)常數(shù)(折射率n,消光系數(shù)k)。

詳細(xì)介紹

強(qiáng)大的軟件功能:

界面友好,操作簡便,用戶點(diǎn)擊幾下鼠標(biāo)就可以完成測量。便捷快速的保存、讀取測量得到的反射譜數(shù)據(jù)數(shù)據(jù)處理功能強(qiáng)大,可同時測量多達(dá)四層的薄膜的反射率數(shù)據(jù)。一次測量即可得到四層薄膜分別的厚度和光學(xué)常數(shù)等數(shù)據(jù)。材料庫中包含了大量常規(guī)的材的光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)。用戶可以非常方便地自行擴(kuò)充材料數(shù)據(jù)庫。

 

產(chǎn)品功能適用性:

該儀器適用于多種介質(zhì),半導(dǎo)體,薄膜濾光片和液晶等薄膜和涂層的厚度測量。

 

典型的薄膜材料為:

SiO2CaF2、MgF2、光刻膠、多晶硅、非晶硅、SiNx、TiO2、聚酰亞胺、高分子膜。

 

典型的基底材料為:

SiGe、GaAs、ZnSZnSe、鋁丙烯酸、藍(lán)寶石、玻璃、聚碳酸酯、聚合物、石英。

儀器具有開放性設(shè)計,儀器的光纖探頭可很方便地取出,通過儀器附帶的光纖適配器(如圖所示)連接到帶C-mount的顯微鏡(顯微鏡需另配),就可以使本測量儀適用于微區(qū)(>10μm,與顯微鏡放大率有關(guān))薄膜厚度的測量。

技術(shù)指標(biāo):

 

名稱

參數(shù)

厚度范圍

20nm-50um(只測膜厚),

100nm-10um(同時測量膜厚和光學(xué)常數(shù)n,k)

根據(jù)薄膜材料的種類,其范圍有所不同。

準(zhǔn)確性

<1nm或<0.5%

重復(fù)性

0.1nm

波長范圍

380nm-1000nm

可測層數(shù)

1-4

樣品尺寸

樣品鍍膜區(qū)直徑>1.2mm

測量速度

5s-60s

光斑直徑

1.2mm-10mm可調(diào)

樣品臺

290mm*160mm

光源

長壽命溴鎢燈(2000h)

光纖

純石英寬光譜光纖

探測器

進(jìn)口光纖光譜儀

電源

AC100V-240V,50HZ-60HZ

重量

18kg

尺寸

300mm*300mm*350mm


 

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