充氮厭氧烘箱于硅片（或晶片、晶圓片、圓片）進(jìn)行清洗之后干燥硅片工藝.
PHH-系列充氮厭氧烘箱特點:
1）全周氬焊，耐高溫硅膠迫緊，SUS304＃不銹鋼電熱產(chǎn)生器，防機(jī)臺本身產(chǎn)生微塵；
2）耐高溫，可以達(dá)到和工作場同樣的地潔凈等級；
技術(shù)參數(shù)：
1． 型號:PHH-1008
2．工作尺寸（mm）: W1400×H1300×D600 （寬*高*深）
3．外形尺寸（mm）: W1990×H1850×D810 （寬*高*深）
4． 送風(fēng)方式：強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)。
5． 溫度范圍：RT＋10℃～300℃。
6． 溫度波動：<±0.5℃。
7． 溫度均勻：±1.5% 。
依測規(guī)范：測SENSOR置放點，離內(nèi)箱壁內(nèi)尺寸1／10處。
8．溫控裝置：日本富士P.I.D智能溫控儀表， LED數(shù)字顯示及設(shè)定、P.I.D自動演算、時間定時。
溫控輸出：SSR輸出，歐姆龍繼電器，固態(tài)繼電器。
測溫裝置：1支PT100 鉑 電阻溫度傳感裝置，測溫精確。
定時裝置：HS48S-99.99定時儀表。
9．內(nèi)室材料：采用 1.0mm厚度SUS不銹鋼鋼板板金折彎加工，周身做氬弧焊滿焊，密閉，氮氣不泄露；外箱優(yōu)質(zhì)SUS不銹鋼數(shù)字加工而成，美觀大方 。
10．保溫材質(zhì)：硅酸鋁。
11．特質(zhì)復(fù)合式SUS304＃不銹鋼電熱產(chǎn)生器。
12．保護(hù)裝置：超溫保護(hù)，欠相保護(hù),過載保護(hù)器，蜂鳴器，開門氮氣自動中斷保護(hù)
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