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產(chǎn)品簡介

小金井電動(dòng)波紋管泵/日本KOGANEI空壓波紋管泵/泵（泵控制器）
對(duì)應(yīng)微細(xì)化半導(dǎo)體晶片的下一代電動(dòng)泵。世界*（注）CT泵的構(gòu)造開發(fā)、低發(fā)塵、除泡性好、以簡單的構(gòu)造實(shí)現(xiàn)了高精度。

詳細(xì)介紹

小金井電動(dòng)波紋管泵/日本KOGANEI空壓波紋管泵/泵（泵控制器）

泵（電動(dòng)波紋管泵）

電動(dòng)波紋管泵F-EPB系列F-EPB08型

●易于控制的步進(jìn)型馬達(dá)式波紋管泵。
●使用流體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質(zhì)不可）※選定，導(dǎo)入時(shí)，請(qǐng)事前聯(lián)絡(luò)、咨詢本公司

zui大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.2MPa	8	0.1～4

電動(dòng)波紋管泵F-EPB系列F-EPB15型

zui大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.2MPa	15	0.1～4

電動(dòng)波紋管泵F-EPB系列F-EPB40型

zui大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.2MPa	40	0.1～10

泵（空壓波紋管泵）

空氣壓波紋管泵F-APB系列F-APB08型

●氣缸驅(qū)動(dòng)的低成本、低價(jià)格的波紋管泵。
●使用流體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質(zhì)不可）※選定，導(dǎo)入時(shí)，請(qǐng)事前聯(lián)絡(luò)、咨詢本公司

zui大吐出壓力	吐出量 ml	供給空氣壓力范圍
0.05MPa	8	0.15～0.4MPa

空氣壓波紋管泵F-APB系列F-APB15型

zui大吐出壓力	吐出量 ml	供給空氣壓力范圍
0.05MPa	15	0.15～0.4MPa

空氣壓波紋管泵F-APB系列F-APB40型

zui大吐出壓力	吐出量 ml	供給空氣壓力范圍
0.05MPa	40	0.15～0.4MPa

空氣壓波紋管泵F-APB系列F-APB60型

zui大吐出壓力	吐出量 ml	供給空氣壓力范圍
0.05MPa	60	0.2～0.4MPa

泵（泵控制器）

電動(dòng)CT,波紋管泵通用控制器F-PCU02型

電源電壓	推奨電磁閥	適用范圍
DC24V.2A	電磁閥JA.F10 系列	F-EPT.F-EPB 系列

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泵（電動(dòng)波紋管泵）

泵（空壓波紋管泵）

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