自動(dòng)RTP快速升溫管式爐細(xì)節(jié)展示

加熱腔體	加熱效果圖	內(nèi)外雙管

　　自動(dòng)RTP快速升溫管式爐主要特點(diǎn)

　　開(kāi)啟式RTP快速升溫管式爐由我公司自主研發(fā)的功能強(qiáng)大的加熱設(shè)備。該產(chǎn)品采用*制造工藝，造型新穎結(jié)構(gòu)合理，爐體爐管可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)分離，爐體上下兩半設(shè)計(jì)，可以自由打開(kāi)，安全可靠。爐膽采用高密度純氧化鋁聚輕纖維材料真空吸附成型，表面涂覆高反射率的超高溫保護(hù)涂層，除能夠保持其能量的損耗，還能增強(qiáng)高溫穩(wěn)定性，可有效減少熱能損耗。該系統(tǒng)可滿足離子注入后的快速退火，也可用于歐姆接觸快速合金，還可用于硅化物合金退火，氧化物生長(zhǎng)，以及銅銦鎵硒光伏應(yīng)用中的硒沉積等快速熱處理工藝場(chǎng)合。采用雙管設(shè)計(jì)，是石墨烯的制作的最好手段，爐體和爐管可以自由滑動(dòng)，氣體和溫度及真空之間可以同步控制，可以同時(shí)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化工藝，配上電腦可以對(duì)溫度、真空和氣體流量實(shí)現(xiàn)控制。由于可以實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)化控制，對(duì)于操作和實(shí)驗(yàn)的重復(fù)性會(huì)非常有幫助。該設(shè)備是實(shí)驗(yàn)室的一款設(shè)備。

　　技術(shù)參數(shù)