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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,綜合 |
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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
設(shè)備1200℃雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)（低真空、高真空）特點
此套設(shè)備是由1200℃雙溫區(qū)開啟式管式爐、三路質(zhì)量流量計及低真空系統(tǒng)組成，根據(jù)工藝要求亦可選配高真空系統(tǒng)。設(shè)備可以抽真空通氣體保護(hù)。氣動彈簧支撐結(jié)構(gòu)使開啟更加方便、簡捷，使用者可直接將樣品放到恒溫區(qū)加熱，在快速降溫過程，透明石英管腔體可直觀的看到樣品燒結(jié)狀態(tài)。法蘭采用卡箍快捷接頭，減去了取放料時的繁瑣操作， 爐管工件橫穿與上下各8組進(jìn)口電阻絲的爐膛，溫場均勻，內(nèi)外溫差可控制在3度左右。此款系統(tǒng)廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體、納米材料、碳纖維、石墨烯等新材料、新工藝領(lǐng)域。
1200℃雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)（低真空、高真空）
加熱區(qū)參數(shù) | 加熱元件：電阻絲 加熱區(qū)長度：200+200mm 恒溫區(qū)長度：100+100 推薦升溫速度：15度/分鐘 爐管：高純度石英管Φ25506080100x1000mm (管徑可選) 控溫方式：模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能。 控溫精度：±1℃ 爐門結(jié)構(gòu)：開啟式 額定功率： 5KW 標(biāo)準(zhǔn)配件：石英管1支，莫來石管堵2對，不銹鋼法蘭1套，硅膠密封圈2套，高溫手套1副，坩堝鉤1支； 外型尺寸：590×380×600mm 可選配單溫區(qū)、三溫區(qū)等加熱區(qū)。 |
氣路系統(tǒng)參數(shù) | 質(zhì)量流量計參考量程（N2)：100sccm、200sccm、500sccm （量程可選） 準(zhǔn)確度：±1.5% 線性：±0.5～1.5% 重復(fù)精度：±0.2% 響應(yīng)時間：≤10 sec 工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa 最大壓力：3MPa 接口：Φ6,1/4'' 顯示：4位數(shù)字顯示 工作環(huán)境溫度：5~45高純氣體 內(nèi)外雙拋不銹鋼管：Φ6 壓力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止閥：Φ6 連接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭。 可選配一路、兩路、三路、四路、五路等以上質(zhì)量流量計。 |
低真空系統(tǒng)參數(shù)
| 抽速:10m3/h 極限真空度：5*10-1pa 電源：220V 50HZ 電機(jī)功率：0.4kw 進(jìn)排氣連接口：KF25 用油量：1.1L 電機(jī)轉(zhuǎn)速：1440rpm 工作環(huán)境溫度：5-40℃ 噪音：≤56db 電阻真空計參數(shù)： 1.配用規(guī)管：電阻規(guī)， 2.測量范圍： 105～10-1Pa， 3.測量路數(shù)： 1路 4.控制范圍： 5×103～5×10-1Pa， 5.控制方式：繼電器觸點輸出，負(fù)載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負(fù)載， 6.電源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz， 7.功耗： 20W |
高真空系統(tǒng)參數(shù)
| 空氣相對濕度：≤85% 工作電壓：AC220V±10% 50/60HZ 功率：1KW 系統(tǒng)整體極限真空度：10-5Pa 實驗真空度：10-3Pa 外形尺寸：850×600×650mm 機(jī)械泵: 抽氣速率：10m3/h 容油量：1.1L 電機(jī)功率：400W 極限壓強(qiáng)：6×10-2Pa 分子泵: 抽氣速率：100L/S 極限壓強(qiáng)：6×10-6Pa 啟動時間：＜2min 額定轉(zhuǎn)速：4300轉(zhuǎn)/分 冷卻方式：環(huán)境溫度5-32℃時，風(fēng)冷；5-40℃時，水冷。 分子泵控制器: 電壓：220V±22V 啟動電流：≤7A 輸入頻率：47HZ~63HZ 最大輸出功率：≤150W 最大加速電壓：≤40V 加速時間：≤3min 頻率（雙速）：高速705HZ±10HZ 低速430HZ±5HZ 復(fù)合真空計: 測量路數(shù)：2路（電阻規(guī)、電離規(guī)各1路） 工作模式：手動/自動 電阻單元參數(shù) 規(guī)管型號：電阻規(guī) 測量范圍：1.0×105Pa~1.0×10-1Pa 有效范圍：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 控制范圍：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 電離單元參數(shù) 規(guī)管型號：電離規(guī) 可測范圍：5.0Pa~1.0×10-5Pa 有效范圍：1.0Pa~5.0×10-5Pa 控制范圍：1.0Pa~5.0×10-5Pa 規(guī)管除氣方式：焦耳去氣 其他參數(shù) 控制路數(shù)：4路 控制方式：點動或區(qū)域控制/帶掉電記憶 控制精度：±1% 采樣時間：1s 電源：220V±10% 50HZ 功耗：50W 使用環(huán)境溫度：0℃~45℃ 濕度：≤85% 連接管路:采用全不銹鋼，電拋光制作，零件焊接漏率優(yōu)于1.0×10-9Pa.m3/s |
備注： | 根據(jù)工藝要求可選配低真空或高真空系統(tǒng) |
