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濕度測量儀器從原理上可分為冷鏡式、*吸收電解式、Al2O3電容式、薄膜電容式、電阻式、干濕球、機械式。其中*吸收電解式微水儀、Al2O3電容式露點儀一般用于低濕范圍的測量，而電阻式、干濕球、機械式濕度計只能用于相對濕度的測量，冷鏡式、薄膜電容式（Vaisala公司的）濕度計則不僅能用于低濕的測量，還能用于中高濕，即相對濕度的測量。上述各種原理的儀器各有其優(yōu)缺點。其中冷鏡式露點儀是zui準確、zui可靠、zui基本的測量方法，被廣泛地用于標準傳遞，但其缺點是價格比較昂貴，并需要有經(jīng)驗的人操作及保養(yǎng)。
1.1冷鏡式露點儀
1.1.1測量原理
被測濕氣進入露點測量室時掠過冷鏡面，當鏡面溫度高于濕氣的露點溫度時，鏡面呈干燥狀態(tài)，(各種濕度露點測量方法及其優(yōu)缺點)此時光電檢露裝置中光源發(fā)出的光照在鏡面上，幾乎*反射，由光電傳感器感應到并輸出光電信號，經(jīng)控制回路比較、放大、驅動熱電泵，對鏡面致冷。當鏡面溫度降至濕氣露點溫度時，鏡面上開始結露（霜），光照在鏡面上出現(xiàn)漫反射，光電傳感器感應到的反射信號隨之減弱，此變化經(jīng)控制回路比較、放大后調(diào)節(jié)熱電泵激勵，使其制冷功率適當減小，zui后，鏡面溫度保持在樣氣露點溫度上。鏡面溫度由一緊貼在冷鏡面下方的鉑電阻溫度傳感器感應，并顯示在顯示窗上。
目前世界上生產(chǎn)冷鏡式露點儀的公司，例如美國的GE、Edgetech、瑞士的MBW等公司均是采用這一原理，英國的MICHELL則是采用雙光路檢測系統(tǒng)，即同時對反射光及散射光進行檢測，芬蘭Vaisala則是利用聲波作檢測系統(tǒng)。
在測量過程中，隨著溫度的降低，被測氣體中的水汽接近飽和狀態(tài)，由于引力作用，水分子吸附在鏡面上形成一層薄薄的水膜。這是形成露的*階段。當鏡面溫度繼續(xù)下降時，水膜的厚度逐漸增加，這是形成露的第二階段。在這一階段內(nèi)，自由表面對水分子的引力與水膜的表面張力之間的力量對比開始發(fā)生變化，后者的影響逐漸起支配作用。此時冷卻表面上的任何不穩(wěn)定的因素，例如鏡面上的微小傷痕等，都會使水膜縮聚成液滴。隨著鏡面溫度的進一步下降，露滴開始出現(xiàn)，通過顯微鏡可以看到孤立生長而且分布不規(guī)則的露滴，然后露層以很快的速度在表面上擴散，此時可以認為液-汽平衡開始，即達到露點。
1.1.2結構
1.1.2.1 鏡面
鏡面應憎水，具有良好的導熱性，還要耐磨、耐腐蝕，光學性能好。在過去曾使用金做鏡面，目前則主要使用銠做鏡面。
1.1.2.2 鏡面致冷
在過去曾使用過蒸發(fā)、機械致冷、液化氣體或干冰致冷、壓縮空氣致冷，目前zui常用的則是熱電致冷或熱電與機械致冷相結合（露點低于-60℃）。在本文中著重介紹熱電致冷。
熱電致冷又稱半導體致冷，帕爾貼致冷（來自其英文名稱Peltier）。其原理是當有一股直流電通過由兩種不同的金屬組成的NP元件時，熱量會從一種金屬傳遞到另一種金屬，正好與熱電偶測溫相反。因此當將帕爾帖的冷端與鏡面相連，其另一端作為散熱端時，便可將鏡面致冷。為了獲得不同程度的低溫可采用多級疊加的辦法。由美國GE公司給出的資料顯示，一般說來，假如室溫為25℃時，一級致冷時，冷熱端溫差可達55℃，二級致冷時冷熱端溫差可達75℃，四級致冷時冷熱端溫差可達105℃，五級致冷時冷熱端溫差可達120℃。不同公司的產(chǎn)品其致冷量也會有稍許的不同。熱端溫度越高，致冷效率越高，冷熱端溫差越大。為了降低冷端的溫度，通常會采用風冷、水冷及機械致冷來降低熱端的溫度。但也不是可以無限制地降低。需要注意的是其致冷能力并不能代表露點儀的測量范圍。露點儀的測量范圍的定義是鏡面上可以獲得穩(wěn)定的，具有一定厚度的露或霜層時鏡面的溫度，因此在一般的露/霜點下，其測量范圍一般比其致冷能力高5℃，在低霜點的情況下，一般高10℃~12℃。例如瑞士MBW公司生產(chǎn)的DP19露點儀，當室溫為10℃時，其zui低測量范圍為-60℃，當室溫為20℃時，其zui低測量范圍為-55℃，當室溫為35℃時，其zui低測量范圍為-45℃。由于氫氣及氦氣的熱導率較高，因此其測量范圍會縮小幾度。當被測氣體的壓力增大，其測量范圍也會縮小，對于空氣和氮氣來說，在高于常壓的情況下，每增加1個大氣壓，其測量范圍降低0.67℃左右。
1.1.2.3 測溫裝置
目前絕大部分采用四線制鉑電阻測溫。鉑電阻感溫元件在相當寬的溫度范圍內(nèi)阻值和溫度近于線性關系，精度高，穩(wěn)定性好，輸出信號較強，便于數(shù)字顯示。
1.1.2.4 檢測系統(tǒng)
目前除芬蘭Vaisala公司zui近研制生產(chǎn)的冷鏡式露點儀是采用聲波原理來測量外，其它均是采用光電檢測器來測量及控制。光電檢測技術已有幾十年的歷史，比較成熟，但其缺點是不能區(qū)分過冷水和霜。
1.1.3使用注意事項
1.1.3.1過冷水與霜
在0~-20℃這一范圍內(nèi)，鏡面上極易形成過冷水，由于冰面和水面上的飽和水汽壓不同，因此假如在鏡面上形成過冷水，測得的數(shù)值要低于霜點，溫度不同，差別也不同。例如霜點為-10℃時，對應的過冷水的溫度為-11.23℃。因此在這一溫度段要非常小心。若儀器配有內(nèi)窺鏡，可通過內(nèi)窺鏡進行觀察區(qū)分。目前大部分儀器都有test的功能，即測試其zui低致冷能力，此時可先使用test功能，使鏡面溫度低于-20℃，確保鏡面上形成霜，然后再進行正式測量。
1.1.3.2 開爾文效應
曲面上的飽和水汽壓與平面上的情況是不同的。當露在金屬表面上形成時，由于表面張力的作用，使平衡水汽壓，即彎曲水面的飽和水汽壓升高，這種影響稱為開爾文效應。由于開爾文效應使得到的露點溫度低于真正的被測氣體的露點溫度。
1.1.3.2拉烏爾效應
是指鏡面上存在水溶性物質時，體系的平衡水汽壓低于純水時的飽和水汽壓。這些水溶性物質可能是鏡面上固有的，或者是被測氣體中含有的。根據(jù)拉烏爾定律，溶液平衡水汽壓的降低與溶液濃度成正比，這也是為什么在達到被測氣體的露點溫度之前會有早期冷凝現(xiàn)象發(fā)生的原因。
開爾文效應與拉烏爾效應作用剛好相反，因此會抵消一些。但是在露點測量中，拉烏爾效應的影響較開爾文效應更為顯著，因為水溶性物質不可避免地或多或少存在于鏡面和被測氣體中，而且氣體中的雜質有時還可能與鏡面上的不溶于水的物質發(fā)生化學反應或光化學反應，轉化為可溶性物質。這種情況在工業(yè)流程氣體的水分測量中更為明顯。因此要采用適當?shù)倪^濾裝置除去氣體中的固體微粒，并且通過反復進行結露和消露的操作，進一步清除鏡面上殘留的可溶性物質，這種方法為人們廣泛使用。
在實際工作中，我們常常會發(fā)現(xiàn)，鏡面上開始結露時并不是均勻的，露層總是首先在鏡面某個區(qū)域上出現(xiàn)，其原因往往是由于鏡面上的劃痕引起的，因為在這些有缺陷的地方，一方面殘留的物質不易清除，另一方面缺陷的棱角起“露核"的作用，加速結露過程。因此，在露點儀的使用中，尤其是在清潔鏡面時，一定要小心，避免使鏡面受到機械損傷。
1.1.3.3 鏡面污染
一是拉烏爾效應，二是改變鏡面本底散射水平。拉烏爾效應主要是由水溶性物質造成的。如果被測氣體中這種物質（一般是可溶性鹽類），則鏡面提前結露，使測量結果產(chǎn)生正偏差。若污染物是不溶于水的微粒，如灰塵等，則會增加本底的散射水平，從而使光電露點儀發(fā)生零點漂移。
1.1.3.4 取樣管路
由于大氣中的水含量都很高，并且水分子為極性分子，極易吸咐在管路內(nèi)壁或透過管路。因此在測量時氣路系統(tǒng)一定要密封好，管壁厚度至少為1mm，以防止外界環(huán)境水分侵入引入滲漏。假如測量環(huán)境溫度變化較大時，應再次檢查管路的密封。
如果被測氣體直接排放入大氣，應考慮大氣中的水分向測量系統(tǒng)內(nèi)部擴散的問題。zui常用的辦法是在排氣口接上一段適當長度的管子，其長度和管徑以不影響測量腔的壓力原則。
取樣管路要盡量短，盡可能減少接頭的數(shù)量和避免“死空間"，以減少本底水分的干擾。
取樣管路和測量腔內(nèi)壁力求干凈，光潔度要好，選用憎水性強的材料，是各種材料在飽和吸附狀態(tài)下通以干氣時的解吸－時間曲線。從實驗結果我們可以得到如下選材順序：不銹鋼、PTFE、銅、聚乙烯，zui差的是尼龍和橡膠管，在低霜點測量中不應使用。另外在低霜點測量時，盡管使用內(nèi)拋光的不銹鋼管，管子外徑一般為6mm或1/4英寸。
在進行高露點的測量時，一定要注意被測露點低于周圍環(huán)境溫度3℃以下，以避免水蒸氣在管路中出現(xiàn)冷凝。
露點儀測量濕度時，流量范圍一般為0.25L/min~1L/min。在這一范圍內(nèi)，流速的改變不會影響測量結果。
取樣時一般可分為兩種情況，一種是帶壓取樣，此時根據(jù)取樣方式的不同，可分為帶壓測量和常壓測量。另一種是在常壓下測量，即用泵抽取樣品。在這種情況下，經(jīng)常會由于取樣方式的不同，而帶來人為的正壓和負壓，若按圖2-5所示的方式取樣，露點儀是在帶壓的情況下測量，會給測量結果帶來正誤差，若將泵與流量計調(diào)換位置，露點儀則是在負壓的狀態(tài)下，此時會給測量帶來負誤差。
1.1.4 應用范圍
露點儀的測量范圍較廣，目前英國MICHELL及瑞士MBW公司開發(fā)的一系列露點儀的測量范圍已達到-95℃~70℃，可以滿足絕大多數(shù)的測量要求。
1.1.5 優(yōu)缺點
優(yōu)點：屬基本測量，測量準確，并且儀器比較穩(wěn)定無漂移，目前準確度zui高的儀器可達±0.1℃。
缺點：價格較高，對操作人員的要求較高，并需進行維護。對污染物敏感。在-20℃~0℃范圍內(nèi)有時會有過冷水存在，因此要特別小心區(qū)分過冷水和霜。
