HORIBA SEC-E40(MK3)質量流量控制器
所謂質量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置。流體的流量計測通常可分為體積流量和質量流量。
產品簡介
詳細介紹
HORIBA SEC-E40(MK3)質量流量控制器
概要
所謂質量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置。流體的流量計測通??煞譃轶w積流量和質量流量。體積流量由于受到計測時環(huán)境溫度和壓力的影響,如需要準確測定時,必須對溫度和壓力進行調整。而質量流量計在測定流體質量的時候,不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準確地進行流體測量。在必須對流量進行精確計測和控制的領域,質量流量控制器被廣泛的使用,例如半導體工業(yè)、太陽能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。
特征
- 適用于寬廣范圍的流量控制,其控制范圍可以從0.2 SCCM到500 SLM(以N2為標準)
- 被廣泛的使用于的制造業(yè),從一般工業(yè)到高科技產業(yè)。
制造: HORIBA STEC
HORIBA SEC-E40(MK3)質量流量控制器