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當(dāng)前位置：上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司>>合肥科晶總代理>>等離子清洗機(jī)系列>> PCE-80等離子清洗機(jī)
| 輸入電源 | AC 220V , 50/60 Hz, |
| 大射頻功率: 100 W | |
| 真空泵功率: < 500W | |
| 總功率: < 600W | |
| 射頻功率 | 射頻功率可在 0 - 100W之間調(diào)節(jié) |
| 射頻: 13,56 MHz | |
| 可以與本公司工作人員采用300W或500W的射頻電源，來(lái)進(jìn)行等離子刻蝕和等離子灰化等實(shí)驗(yàn) | |
| 等離子腔體 | 8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高純石英腔體 |
| 鋁制折疊式法蘭來(lái)進(jìn)行真空密封 | |
| 法蘭上有一個(gè)直徑為60mm的觀察窗口 | |
| 控制面板 | 通過(guò)6" 彩色觸摸屏，可控制射頻功率、真空泵的開(kāi)啟、清洗時(shí)間和氣體流量等. |
| 儀器內(nèi)部安裝有一0 - 500ml/minute質(zhì)量流量計(jì)，可精確地控制進(jìn)氣流量 | |
| 真空泵 | 儀器中包括一臺(tái)240L/min直聯(lián)式雙旋真空泵、KF25波紋管以及KF25的手動(dòng)擋板閥。 |
| 極限真空度為50mTorr | |
| 通入氣體 | 等離子腔體中可以通入多種氣體來(lái)產(chǎn)生等離子，如N2, Ar, Air，H2、O2和混合氣體等等（根據(jù)材料性質(zhì)所定） |
| 可選 | 可選購(gòu) 2" - 6" 石英舟來(lái)盛放基片 |
| 可選購(gòu)2-4通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng) | |
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| 外型尺寸 | 620 L ×450 W ×600 H, mm |
| 質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期，終生維護(hù) |
