質(zhì)量式氣體流量計(jì)

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Aera創(chuàng)建于美國，是一家提供流體測量和控制產(chǎn)品及全套解決方案的跨國高科技企業(yè)，擁有研發(fā)及運(yùn)營團(tuán)隊(duì)，掌握流體測量及控制技術(shù)，專注于高科技工業(yè)領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用，包括半導(dǎo)體、新能源、 新材料，平板顯示、數(shù)據(jù)存儲、工業(yè)鍍膜、食品及化工分析等。Aera 的產(chǎn)品包高性能的氣體質(zhì)量流量控制儀器及測量儀器，氣體工藝整體解決方案和服務(wù)支持方案。Aera始終致力于為客戶開發(fā)優(yōu)化的解決方案及相關(guān)產(chǎn)品，客戶包括但不限于原始設(shè)備制造商（OEM）和終端用戶（END-USER）。

質(zhì)量式氣體流量計(jì)

性能：

快速的響應(yīng),響應(yīng)時(shí)間＜2秒.

精度≤1%FS   線性度小于等于0.5%FS  重復(fù)性≤0.2%FS

易于整合——標(biāo)準(zhǔn)連接器和尺寸

高度的可靠性和穩(wěn)定性

特點(diǎn):

耐腐蝕性，流量范圍從10sccm－200slm

VCR® 及 Swagelok®共容性連接

橡膠密封

常關(guān)或常開的電磁控制閥

泄漏率1 x 10-7 atm-cc/sec of He