氣體質(zhì)量流量控制器

FC-DR980C  FC-DR981C

Aera 創(chuàng)建于美國，是一家提供流體測量和控制產(chǎn)品及全套解決方案的跨國高科技企業(yè)，擁有研發(fā)及運營團隊，掌握流體測量及控制技術(shù)，專注于高科技工業(yè)領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用，包括半導體、新能源、 新材料，平板顯示、數(shù)據(jù)存儲、工業(yè)鍍膜、食品及化工分析等。Aera 的產(chǎn)品包高性能的氣體質(zhì)量流量控制儀器及測量儀器，氣體工藝整體解決方案和服務(wù)支持方案。Aera始終致力于為客戶開發(fā)優(yōu)化的解決方案及相關(guān)產(chǎn)品，客戶包括但不限于原始設(shè)備制造商（OEM）和終端用戶（END-USER）。

氣體質(zhì)量流量控制器

性能：

數(shù)字和模擬兩用型控制

快速的響應(yīng)

高精度

高度的可靠性和穩(wěn)定性

易于整合——標準連接器和尺寸

• 規(guī)格

• FC-DR980

• Full Scale Range (N2 Eqv)

• 單氣體2-5000sccm

• Control Valve Type 閥門類型

• 常開式或常閉式螺線管 (NC or NO)

• Fitting

  接頭

• 1/4"VCR or 1/4"Swagelok兼容

  IGS 底部/表面貼裝(c或w密封)

• Seals 密封

• 橡膠 Viton金屬

• Response Time 響應(yīng)時間

• ≤1Sec(超過滿量程10%)

• Accuracy

  精度

• 25%-*:≤±1%S.P (滿量程25%到*)

  2%-25%: ≤ ±0.25%F.S (滿量程2%到25%)

• Linearity 線性度

• ≤ 滿量程的±0.5%

• Repeatability 重復(fù)性

• ≤ 滿量程的±0.15%

• Differential Pressure 壓差

• 7 - 40psi

• Leak lntegrity 漏率

• Max:1x10-11Pa.m3/sec (He)

• Control Range 控制范圍

• 滿量程的2-*

• Max Operating Pressure 高操作壓力

• 70psi

• Proof Pressure 承受壓力

• Z大值140psi

• Communication Type 通訊模式

• 模擬0-5V / RS485

• Input Power

  輸入功率

• +15VDC ±2% at 100mA

  -15VDC ±2% at 200mA

• Command Signal 輸入模擬信號

• 模擬信號0-5 VDC(輸入阻抗>1MΩ)/數(shù)字信號 0-*

• Output Signal 輸出模擬信號

• 模擬信號0-5 VDC(輸入阻抗>2KΩ)/數(shù)字信號 0-*

• Power Consumption 功耗

• 4.5W

• Temperature Range 溫度范圍

• 5-45 Deg C

• Materials 材料

• 316LSS,316SS,PTFE

• Weight 重量

• 1.2kg