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當(dāng)我們使用掃描電子顯微鏡觀察樣品時(shí)：

?  通過(guò)小視野進(jìn)行聚焦和消像散，視野變暗變模糊，或是顆粒變大變朦朧

?  同一視野下，從高倍往低倍依次拍照，圖像出現(xiàn)一系列明顯的深色斑塊

這便是碳沉積（碳污染）。

▲圖1.常見(jiàn)碳污染（視野中的深色框）

本質(zhì)：富含碳氧，碳碳，和碳與其它弱鍵的高分子有機(jī)物，當(dāng)在電子束的作用下，游蕩在樣品表面附近的有機(jī)物弱鍵斷裂，氣體游離出去，碳沉積下來(lái)，其過(guò)程類似化學(xué)氣相沉積（CVD）。

來(lái)源：從 Vent Chamber 帶入的空氣、樣品上殘留的油污、導(dǎo)電碳漿銀漿導(dǎo)電膠帶、高分子化合物樣品本身……可以說(shuō)，碳污染無(wú)處不在，而且還會(huì)隨著時(shí)間的推移與日俱增。

?  避免用手直接接觸樣品臺(tái)和樣品座（戴一次性乳膠手套操作）

?  高溫烘干導(dǎo)電碳漿、銀漿

?  定期用無(wú)水乙醇清潔樣品臺(tái)、樣品倉(cāng)等方式方法降低碳污染的累積

?  利用 Plasma Cleaner（等離子清洗機(jī)），從微觀層面除碳污染

Plasma Cleaner（等離子清洗機(jī)）在工作時(shí)，其產(chǎn)生的大量等離子體可以有效地破壞聚合物表面的弱鍵，并用高活性基團(tuán)取而代之，讓有機(jī)物不再有機(jī)，變成氣態(tài)碳氧化合物真空泵吸走，從源頭上消滅碳污染。

同時(shí)，適當(dāng)能量的 Plasma Clean（等離子清洗）還可以在不損傷樣品表面的前提下對(duì)樣品本身進(jìn)行清洗清潔，讓略有污染的樣品重現(xiàn)真實(shí)形貌。

▲ 圖2.鐵粉樣品等離子清洗前（左圖）和清洗后（右圖），左圖淺色框?yàn)樘嘉廴?/em>

▲ 圖3.NCM樣品等離子清洗前（左圖）和清洗后（右圖），左圖中央亮區(qū)為碳污染

▲ 圖4.芯片樣品等離子清洗前（左圖）和清洗后（右圖），左圖亮暗不均的方塊區(qū)為碳污染

▲ 圖4.生物切片樣品等離子清洗前（左圖）和清洗后（右圖），左圖中央深色方塊區(qū)域?yàn)樘嘉廴?/em>

蔡司鎢燈絲掃描電子顯微鏡 EVO 系列、蔡司場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡 GeminiSEM、Sigma 系列、蔡司雙束電鏡 Crossbeam 系列均可聯(lián)系我們升級(jí) Plasma Cleaner （等離子清洗機(jī)），通過(guò)定期以高功率清洗樣品艙室，時(shí)時(shí)以合適的功率清潔樣品表面，將使每臺(tái)電鏡都恢復(fù)到高質(zhì)量的工作狀態(tài)。