目錄:北京中顯恒業(yè)儀器儀表有限公司>>澤攸科技電子顯微鏡>>SEM原位解決方案>> SEM原位解決方案——SEM納米力測量系統(tǒng)
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
---|
產(chǎn)品描述
PicoFemto NI-100 SEM納米力測量將納米壓痕儀集成進(jìn)掃描電鏡中,使用戶可以在掃描電鏡中進(jìn)行原位納米壓痕研究。該系統(tǒng)由一個三維壓電驅(qū)動的樣品臺和一個納米力測量探針組成。樣品安裝方式靈活多樣,可在三維納米位移臺的驅(qū)動下,達(dá)到超過5 mm的準(zhǔn)確定位,定位分辨率優(yōu)于100 nm,以使待測量區(qū)域準(zhǔn)確對準(zhǔn)力探針。
力探針同樣由壓電驅(qū)動,在軸向達(dá)到100 um的伸縮長度,位移分辨率優(yōu)于0.25mm。由力傳感器準(zhǔn)確測量所施加的力的載荷,可測拉力和壓力。并有不同的最大量程的力傳感器可選配,達(dá)到很好的測量效果。通過搭配電學(xué)、光學(xué)、加熱等模塊,該產(chǎn)品還可以實現(xiàn)包括原位力/熱耦合、力/光耦合、力/電耦合、力/熱/晶體取向耦合等多場耦合研究。
(空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)