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勻膠機(jī)、旋涂?jī)x清理

閱讀:3061        發(fā)布時(shí)間:2016-11-12

勻膠旋涂產(chǎn)品,在長(zhǎng)時(shí)間使用過(guò)程中需要對(duì)儀器進(jìn)行適當(dāng)清理

勻膠機(jī)屬下列狀況之一時(shí),需要對(duì)抽氣室進(jìn)行清潔:

1. 正常使用三個(gè)月的; 

2. 膠被吸入抽氣室的; 

3. 電機(jī)轉(zhuǎn)速不穩(wěn)定或被卡住轉(zhuǎn)不動(dòng)的。 

清潔的辦法是順次取下勻膠機(jī)片托,松開(kāi)光電盤上的緊固頂絲,取下光電盤、上密封環(huán)、抽氣室、下密封環(huán)、彈簧,用脫脂棉蘸酒精或丙酮擦洗潔凈,再順次裝上彈簧、下密封環(huán)、抽氣室、上密封環(huán)、光電盤。旋緊緊固頂絲。 

 

北京泰諾鑫源科技有限公司專注于為微電子和半導(dǎo)體領(lǐng)域的高等院校、科研院所以及各類生產(chǎn)企業(yè)提供*的半導(dǎo)體制造及封裝實(shí)驗(yàn)設(shè)備和器材。在勻膠機(jī)清洗的問(wèn)題供大家討論。

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