超精密振動一位移測量儀是電容不接觸式%性精密測量儀器，它既是測振儀，又是電子測微計，直接讀取被測靜態(tài)位移值或振動幅值（單峰值），。
性能指標(biāo)
量程/分辨率:±3.000μm/0.001μm、±30.00μm/0.01μm、±300.0μm/0.1μm
測量頻率范圍：0—7500HZ
線性度：≤±0.5%
輸出信號：0—±5.1V 0—18mA
零點漂移（開機(jī)預(yù)熱10分鐘后）：≤±0.25%FSO/h
量程、初始間隙δ0與傳感器電，直徑d0
測量圓柱面時，應(yīng)將儀器示值乘以一修正系數(shù)K1，不同圓柱面直徑D的K1值
工作溫度：放大器－10℃－+60℃ 探頭－30℃－+200℃
電源：220V±10%  50HZ
體積：258mm×300mm×102mm
使用方法：
靜態(tài)位移測量
1.頻率校準(zhǔn)
將傳感器的高頻插頭插入外接振蕩器的“輸入"插座，外接振蕩器的“輸出"與儀器后面板的“輸入"用兩頭帶有高頻插頭的電纜聯(lián)接起來，插好電源線，打開電源，儀器有數(shù)碼顯示，將8.2電，擰入傳感器頭部，并使之遠(yuǎn)離物體，按下前面板按鍵“頻率較準(zhǔn)"、“位移"，這時數(shù)顯有指示，預(yù)熱10分鐘，調(diào)節(jié)“調(diào)零"旋鈕，使顯示回到零點，如果偏向一邊，則調(diào)節(jié)“頻率較準(zhǔn)"鈕，使顯示回到零點附近，調(diào)節(jié)“調(diào)零"旋鈕回到零點。
2.選用量程和測量電，，安裝傳感器
根據(jù)被測位移值（或振動幅值）可能變化的范圍，由表1查得相應(yīng)的量程和電，直徑d0。如選用±30μm檔，直接按下30μm檔量程鍵，再將傳感器借助彈性夾套安裝到磁力表座（或用戶自制的，夾具）上，使測量電，的測量端面接近被測量物體表面，如果是平面或圓柱面，應(yīng)盡可能平行，如果是球面，應(yīng)可能對中。
3.調(diào)整初始間隙，開始測量
調(diào)整的初始間隙（參考值），調(diào)整時顯示為“+"位移值時，反時針轉(zhuǎn)動傳感器微調(diào)螺母，使測量間隙逐漸增大，反之順時針轉(zhuǎn)動，間隙減少，數(shù)值會逐漸接近零點。借助面板上的“調(diào)零"旋鈕細(xì)調(diào)，可使儀器，指零，測量即可開始，當(dāng)被測表面接近傳感器，測量間隙小，表示被測尺寸增加，儀器示值為“+"位移值，反之為“—"位移值，選用其它兩種量程，只需要根據(jù)表1重新?lián)Q用測量電，，切換量程和重新調(diào)整初始間隙。
4.與%儀表聯(lián)接
儀器設(shè)有“電壓輸出"插座，三種量程的滿量程電壓輸出信號都是±5.1V（線性區(qū)）電流18mA，電壓輸出可與%種高輸入阻抗儀表（計算機(jī)，示波器，頻率計，F(xiàn)FT頻譜分析儀等）聯(lián)接，以便對被測信號進(jìn)行記錄、觀察和分析處理。
(三)、振動測量
儀器測量振動位移時，其方法基本同靜態(tài)位移測量相似，其中初始間隙的調(diào)整可在被測物體啟動前進(jìn)行，也可在啟動后進(jìn)行，振動測量時,“位移"示值是顯示被測物體啟動后的浮動位移，同靜態(tài)位移一樣，都是直流信號分量，與交流信號分量無關(guān)，“振幅"示值是被測振動信號的單振幅值（與直流信號分量無關(guān)），如果“位移"示值遠(yuǎn)離零點，應(yīng)轉(zhuǎn)動傳感器微調(diào)螺母，使輸出回到零點附近，以，振動測量有滿量程的線性工作范圍。
2.儀器輸出電壓與外接儀表定標(biāo)，確定被測振動位移值
儀器輸出電壓接到%儀表上，%儀表使用直流DC輸入，在“頻率校準(zhǔn)"狀態(tài)下，調(diào)整“頻率校準(zhǔn)"鈕在滿量程范圍內(nèi)給出兩個不同的示值（如零與正滿度值，即為3μm或30μm或300μm），看其在外接%儀表中相應(yīng)的偏離格數(shù)，由此確定其間的定量關(guān)系，振動測量時，根據(jù)所選量程，儀器輸出電壓在%儀表中所對應(yīng)的格數(shù)，通過以上定標(biāo)所確定的定量關(guān)系，確定出被測物體振動的位移值。
（四）注意事項：
1.儀器屬精密測量儀器，固定傳感器支架要有剛性，傳感器調(diào)整好，讓其穩(wěn)定一段時間，消除支架的機(jī)械蠕變再開始測量。
2.被測量金屬物體要接地。
3.測量過程中盡量不要挪動傳感器的聯(lián)接電纜線，使電纜線自然放置。
配套部件：
超精密振動—位移測量儀                           一臺
外接振蕩器                                       一只
傳感器（包括彈性夾套、塑料保護(hù)套、φ2.9 、φ8.2、
φ26電容，板%一枚）                             一套
220V交流電源線                                   一根
輸出測量線                                       一根
外接振蕩器與儀器本體聯(lián)接線                       一根
接地線                                           一根
手提箱                                           一只