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*度(Precision)是指使用同種備用樣品進行重復測定*得到的結果之間的重現性。測量*度(也常簡稱*度)*,是指偶然誤差與系統(tǒng)誤差都比較小,這時測量數 據比較集中在真值附近。雖然*度*可說明*度*,但*的結果也可能是不*的。誤差是*度的表示,是實測值與真實值偏離程度,而偏差是*密度的表示,是平行測量間的相異程度。 *度表示測量結果的正確性,*密度表示測量結果的重復性和重現性,*密度是*度的前提條件。 普通意義的分辨率(resolution)就是屏幕圖像的*密度,是指顯示器*能顯示的像素的多少。對于光柵尺而言是指可以測量的小單位.對于傳感器的分辨率與*度的理解,可以拿千分尺為例,分辨率代表千分尺*多可以讀到小數點后幾位,但*度還與尺子的加工*度,測量方法有關系。 同樣的,在光柵尺的使用中,分辨率與*度是不同的兩個概念。
光柵尺的分辨率,是指光柵尺可讀取并輸出的小長度變化,對應的參數有:每毫米光柵刻線數、脈沖數、細分等。比如50線光柵和100線光柵在同等條件下分辨率就不*樣,同等的50線光柵如果細分方法不*樣分辨率也會不*樣。
光柵尺的*度,是指光柵尺輸出的信號數據對測量的真實長度度的*度,對應的參數是微米(μm)、納米(nm).目前*光柵尺分辨率*般有5μm、1μm、0.5μm、0.2μm、0.1μm。那么這些分辨率是怎么得來的呢? 以每毫米50線光柵為例,經過4細分,就能得到很簡單的5μm的分辨率,而不用采用電子細分,這也是目前*海德漢光柵尺機床尺的多數工藝,至于*分辨率的光柵尺,就必須采用電子細分技術,增加插補細分器才能得到。*分辨率光柵尺*般應用于儀器儀表如視頻儀、工具顯微鏡、CNC加工中心等。
影響光柵尺測量*度有如下幾個方面:
A:光學部分 B:機械部分 C:電氣部分 D:使用中的安裝與傳輸接收部分,使用后的*度下降,機械部分自身的偏差。
A、光學部分對*度的影響:
光柵尺玻璃—主要的是母尺*度、每毫米刻線數、刻線*度、刻線寬度*致性等。
光發(fā)射源—光的平行與*致性、光衰減。
光接收單元—讀取誤差、讀取響應。
光學系統(tǒng)使用后的影響—污染,衰減。
B、機械部分對*度的影響:
安裝*度。軸承的*度與結構*度。光學組建安裝的*度。 例如,就軸承的結構而言,單軸承支撐結構的軸承偏差無法消除,而且經使用后偏差會更大,而雙軸承結構或多支承結構,可有效降低單個軸承的偏差。
C、電氣部分對*度的影響:
電源的穩(wěn)定*度—對光發(fā)射源與接收單元的影響。讀取響應與電氣處理電路帶來的誤差;電氣噪音影響,取決于光柵尺電氣系統(tǒng)的*干擾能力;例如,如果電子細分,也會帶來的誤差,按照德國海德漢提供的介紹,海德漢光柵尺的細分電氣誤差與正余弦曲線誤差會有*個很小的差異。
D、光柵尺使用中帶來的*度影響:
輸出電纜的*干擾與信號延遲(較長距離或較快頻率下);
接收設備的響應與接收設備內部處理可能的誤差。
光柵尺*速位移時的動態(tài)響應偏差。
常見的就是我們自己使用安裝的方法與安裝結果帶來的偏差。
綜上*述,光柵尺的分辨率和*度其實是兩個不同的概念,但是二者有關聯(lián),*分辨率可以得到*的測量*度,但不是*分辨率*定能得到*的測量*度。在同等條件下,理論上*分辨率光柵尺*定可以得到*的測量*度。
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