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實驗室型等離子清洗機產(chǎn)品特點：
u 數(shù)字流量計控制，控制更準確。
u 電容式等離子激發(fā)方式。
u 符合人體功能學(xué)的60度傾角操作界面設(shè)計，操作方便，界面友好。
u 頂置真空倉，上開蓋設(shè)計，下壓式鉸鏈開關(guān)方式。
u 上置式360度自由水平取放樣品托盤設(shè)計，符合人體功能學(xué)，操作更方便。
實驗室型等離子清洗機技術(shù)參數(shù)
型號 | CPC-G | CPC- G plus |
艙體尺寸 | H120xΦ270mm | H120xΦ270mm |
艙體容積 | 6.8L | 6.8L |
射頻電源 | 40KHz | 13.56MHz |
匹配器 | 自動匹配 | 自動匹配 |
射頻功率 | 10-300W可調(diào) | 10-150W可調(diào) |
氣體控制 | 質(zhì)量流量計（MFC）（標(biāo)配單路，可選雙路） | |
有效處理尺寸 | Φ270mm 圓盤 | |
產(chǎn)品尺寸 | L525xW425xH345mm | |
包裝尺寸 | L645xW540xH560mm | |
時間設(shè)定 | 1-99分59秒 | |
真空泵 | 抽速4-8m3/h | |
氣體穩(wěn)定時間 | 1分鐘 | |
真空度 | 100pa以內(nèi) | |
電 源 | AC220V 50-60Hz | |
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