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XLA-50-2日本SMC電磁閥選型@SMC真空閥XL系列

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  • 天津萬寶隆流體控制設(shè)備有限公司
  • 2023-05-23 12:22:27
  • 東莞市
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【簡單介紹】

日本SMC電磁閥選型@SMC真空閥XL系列

在半導(dǎo)體制造過程中,腐蝕裝置、噴鍍裝置,離子注入裝置和CVD裝置等許多部分,都要把芯片和液晶基板放在真空室內(nèi)處理,該真空
室供氣、排氣(真空)用閥,要求它們無泄漏、耐腐蝕且是潔凈規(guī)格。

【詳細(xì)說明】

日本SMC電磁閥選型@SMC真空閥XL系列

在半導(dǎo)體制造過程中,腐蝕裝置、噴鍍裝置,離子注入裝置和CVD裝置等許多部分,都要把芯片和液晶基板放在真空室內(nèi)處理,該真空
室供氣、排氣(真空)用閥,要求它們無泄漏、耐腐蝕且是潔凈規(guī)格。

真空的含義是指在給定的空間內(nèi)低于一個大氣壓力的氣體狀態(tài),是一種物理現(xiàn)象。在“虛空”中,聲音因為沒有介質(zhì)而無法傳遞,但電磁波的傳遞卻不受真空的影響。事實上,在真空技術(shù)里,真空系針對大氣而言,一特定空間內(nèi)部之部份物質(zhì)被排出,使其壓力小于一個標(biāo)準(zhǔn)大氣壓,則我們通稱此空間為真空或真空狀態(tài)。真空常用帕斯卡(Pascal )或托爾(Torr )做為壓力的單位。在自然環(huán)境里,只有外太空堪稱zui接近真空的空間。

SMC高真空閥
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