石墨烯/多孔氮化硅復合材料 Si3N4
摘要：基于等離子體化學氣相沉積法,干法刻蝕,化學氣相沉積法及腐蝕基底法,制備了一種石墨烯與多孔氮化硅復合材料;該結構的氮化硅襯底具有不同的形貌結構(孔陣列及溝道陣列).利用掃描電子顯微鏡,原子力顯微鏡,拉曼光譜儀對石墨烯/多孔氮化硅復合材料進行表征和表面應力性質研究.結果表明:不同形貌結構的氮化硅與石墨烯復合后的表面應力不同.表面粗糙度,表面形貌及表面面積是影響復合材料表面應力的主要因素.其中,氮化硅多孔形貌結構(應變0.1%~0.12%)與氮化硅溝道形貌結構(應變0.16%~0.27%)相比,更有利于緩解石墨烯/多孔氮化硅復合材料的表面應力集中問題.
石墨烯/多孔氮化硅復合材料 Si3N4
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