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德國Leybold萊寶真空泵的工作原理

2016-11-10  閱讀(1864)

德國Leybold萊寶真空泵的工作原理
萊寶公司在1850年,就已經(jīng)在德國的科隆成立了.自公司成立以來,萊寶一直走在世界真空技術(shù)發(fā)展的zui前端.目前,萊寶公司是世界上zui大的真空設(shè)備供應(yīng)商之一,目前,在世界上四個(gè)國家設(shè)有工廠 ,每家工廠各自生產(chǎn)不同系列的真空元部件。它們位于:德國的科隆,公司總部所在地。幾乎生產(chǎn)所有系列的 產(chǎn)品;美國的賓西法尼亞州,專門生產(chǎn)應(yīng)用于半導(dǎo)體預(yù)*要*預(yù)先進(jìn)要先進(jìn)行業(yè)的干泵、低溫泵等;法國的瓦郎斯, 專門生產(chǎn)SOGEVAC系列單級(jí)旋片泵。;中國的天津,專門生產(chǎn)TRIVAC C系列雙級(jí)旋片泵。形成的產(chǎn)品系列有TRIVAC系列雙級(jí)油封旋片泵、SOGEVAC系列單級(jí)油封旋片泵、E&DK系列滑閥泵、ECODRY系列活塞 干泵、DIVAC系列膜片泵、RUVAC系列羅茨泵、DIP新型擴(kuò)散泵、TURBOVAC系列陶瓷軸承渦輪分子泵、RUTA羅茨泵組、PT,TOP和TIPS系列分子泵機(jī)組、COOLVAC系列低溫泵、ScrewLine 系列螺桿式干式壓縮 真空泵 。
德國Leybold萊寶真空泵的工作原理
旋片泵主要由定子、轉(zhuǎn)子、旋片、定蓋、彈簧等零件組成。其結(jié)構(gòu)是利用偏心地裝在定子腔內(nèi)的轉(zhuǎn)子(轉(zhuǎn)子的外圓與定子的內(nèi)表面相切兩者之間的間隙非常?。┖娃D(zhuǎn)子槽內(nèi)滑動(dòng)的借助彈簧張力和離心力 緊貼在定子內(nèi)壁的兩塊旋片,當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí),始終沿定子的內(nèi)壁滑動(dòng)。
兩個(gè)旋片把轉(zhuǎn)子、定子內(nèi)腔和定蓋所圍成的月牙型空間分隔成A、B、C三個(gè)部分,當(dāng)轉(zhuǎn)子按圖示方向旋轉(zhuǎn)時(shí),與吸氣口相通的空間A的容積不斷地增大,A空間的壓強(qiáng)不斷的降低,當(dāng)A空間內(nèi)的壓強(qiáng)低于被 抽容器內(nèi)的壓強(qiáng),根據(jù)氣體壓強(qiáng)平衡的原理,被抽的氣體不斷地被抽進(jìn)吸氣腔A,此時(shí)正處于吸氣過程。B腔的空間的容積正逐漸減小,壓力不斷地增大,此時(shí)正處于壓縮過程。而與排氣口相通的空間C的 容積進(jìn)一步地減小,C空間的壓強(qiáng)進(jìn)一步的升高,當(dāng)氣體的壓強(qiáng)大于排氣壓強(qiáng)時(shí),被壓縮的氣體推開排氣閥,被抽的氣體不斷地穿過油箱內(nèi)的油層而排至大氣中,在泵的連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)過程中,不斷地進(jìn)預(yù)*要*預(yù)先進(jìn)要先進(jìn)行著吸 氣、壓縮、排氣過程,從而達(dá)到連續(xù)抽氣的目的。排氣閥浸在油里以防止大氣流首*首先進(jìn)入泵中,油通過泵體上的間隙、油孔及排氣閥進(jìn)首*首先進(jìn)入泵腔,使泵腔內(nèi)所有運(yùn)動(dòng)的表面被油覆蓋,形成了吸氣腔與排氣腔的密 封,同時(shí)油還充滿了一切有害空間,以消除它們對(duì)極限真空的影響。
德國Leybold萊寶真空泵在使用過程中常見的一些問題:
1.真空度降低 (密封件老化,排氣閥開裂或脫落)
2.噴油 (油太多或擋油板脫落)
3.漏油 (油封磨損、O型圈、密封墊損壞)
4.起動(dòng)困難 (油泵磨損或皮帶偏松)
5.停泵時(shí)系統(tǒng)出現(xiàn)空氣 (密封閥損壞)
德國Leybold萊寶真空泵概述:
萊寶真空泵SOGEVAC系列是單極油封式旋片泵。泵本身帶有防返油閥、氣鎮(zhèn)閥(選配)、出口過濾 器、回油線路和和油冷卻回路。泵由直聯(lián)法蘭電機(jī)驅(qū)動(dòng)。
安裝在泵體中的偏心轉(zhuǎn)子)有三塊葉片,它們把泵分成三個(gè)隔室,每個(gè)隔室的容積隨轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)周期性的變化。
當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí),抽空腔的進(jìn)氣部分容積擴(kuò)大,將氣體從進(jìn)氣口吸首*首先進(jìn)入,氣體經(jīng)過空氣濾芯,打開的防返油閥進(jìn)首*首先進(jìn)入腔泵。當(dāng)轉(zhuǎn)子進(jìn)一步旋轉(zhuǎn),葉片從吸首*首先進(jìn)入口將泵腔部分分開。這部分泵腔容積減少,氣體被壓 縮。氣體在略高于大氣壓時(shí)經(jīng)過排氣閥從泵腔排出。油在注首*首先進(jìn)入泵腔起密封、潤滑和泵冷卻的作用。壓縮氣體夾帶的油在油箱內(nèi)由于折轉(zhuǎn)而被初步捕集。而后在出口油霧分離器中被*過濾。于是,排氣 中油含量下降至低于可見程度。
注:SOGEVAC系列泵不能抽空侵蝕性、腐蝕性、易燃或易爆氣體。
德國Leybold萊寶真空泵的工作原理
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