詳細(xì)介紹
BHL-station 軟光刻站SU-8模具PDMS芯片
BHL-station 軟光刻站SU-8模具PDMS芯片
- <li class="product-code" "="" style="box-sizing: border-box; font-size: 15px; padding: 0px 0px 5px; text-align: left; position: relative; color: rgb(135, 135, 135); line-height: 1.5;">產(chǎn)品SKU: BHL站
- 類別: 母模, 微細(xì)加工, 微細(xì)加工套件
我們提供*的產(chǎn)品,使您無需使用潔凈室即可直接在實驗室中進(jìn)行自己的微細(xì)加工,軟光刻,SU8-MOLD和PDMS芯片。
在沒有潔凈室的情況下生產(chǎn)SU-8模具和PDMS芯片
新裝,新裝和編組手冊。Vous pourrez產(chǎn)品vos推出了無人參微流體。
- 節(jié)省時間: 無需分包商,您可以在一天內(nèi)生產(chǎn)芯片。
- 易于使用: 易于安裝,有清晰的說明
- 節(jié)省空間: 無需潔凈室:3平方米可獲得相同的結(jié)果。
- 高分辨率: 達(dá)到與進(jìn)入潔凈室的分辨率相同的分辨率。
全軟光刻和PDMS芯片站
完整的軟光刻技術(shù)產(chǎn)品,無需清潔室即可生產(chǎn)自己的SU-8模具和PDMS芯片。
光刻站捆綁了軟光刻所需的所有儀器,從紫外線曝光系統(tǒng)和等離子清潔器到化學(xué)熱板,我們選擇了PDMS芯片和模具制造所需的每種儀器。在不到24小時的時間內(nèi),直接在您的實驗室中生產(chǎn)芯片,從而帶來便利并降低開發(fā)成本。
制造過程具有很高的可復(fù)制性,可讓您生產(chǎn)一系列類似的芯片。
隨附所有必要的實驗室配件(硅片,鑷子,玻璃蓋,培養(yǎng)皿,一次性杯子,攪拌棒,手術(shù)刀等...)和化學(xué)藥品(SU8,SU8顯影劑,丙酮,異丙醇,粘附促進(jìn)劑)。
套件組成(不詳盡)
我們的專家選擇并采用了好的儀器,以使其與可靠的過程協(xié)同工作。
可編程旋涂機:具有可控和可重復(fù)PDMS層的高級功能。它可以輕松地從您的PC編程,也可以直接從操作員面板編程,振動小,速度高達(dá)12,000 rpm。提供晶圓對中工具。
等離子清潔劑:用于PDMS粘合。它的真空反饋回路可以調(diào)節(jié)腔室內(nèi)的真空度,而無需手動調(diào)節(jié)。兼容3至6英寸晶圓。
緊湊的紫外線曝光系統(tǒng):與硬(物理)或軟(接近)掩膜觸點兼容,并具有可變的掩膜到基板距離控制功能。分辨率為2µm。
烤箱: 前面板帶有雙金屬流體膨脹探頭溫度調(diào)節(jié)器。
可編程熱板:4英寸晶圓上的高溫均勻性。
真空泵:真空度足以在30分鐘內(nèi)將晶片保持在旋涂機卡盤上或?qū)DMS進(jìn)行脫氣。并且帶有所有必要的實驗室配件和化學(xué)藥品。
應(yīng)用領(lǐng)域
微流體,芯片實驗室,器官芯片,
注:楊清辰發(fā)布。
此款產(chǎn)品不用于醫(yī)療,不用于臨床使用,此產(chǎn)品僅用于科研使用。