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賀德克壓力傳感器
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賀德克壓力傳感器
賀德克壓力傳感器是檢測氣體、液體、固體等所有物質(zhì)間作用力能量的總稱,也包括丈量高于大氣壓的壓力計以及丈量低于大氣壓的真空計。力敏傳感器的種類甚多、傳統(tǒng)的丈量方法是利用彈性元件的形變和位移來表示,但它的體積大、粗笨、輸出非線性。隨著微電子技術(shù)的發(fā)展,利用半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)和良好的彈性,研制出半導(dǎo)體力敏傳感器,主要有硅壓阻式和電容式兩種,它們具有體積小、重量輕、靈敏度高等優(yōu)點,因此半導(dǎo)體力敏傳感器得到廣泛應(yīng)用。當對一塊半導(dǎo)體在某一晶向上施加應(yīng)力時,其電阻率會產(chǎn)生一定的變化。
賀德克壓力傳感器
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