詳細介紹
賀德克壓力傳感器在整個壓力范圍內(nèi)垂直偏移保持恒定,因此變換器擴散和激光調(diào)節(jié)修正的變化將產(chǎn)生偏移量誤差。
其次是靈敏度誤差:產(chǎn)生誤差大小與壓力成正比。如果設(shè)備的靈敏度高于典型值,靈敏度誤差將是壓力的遞增函數(shù)。如果靈敏度低于典型值,那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數(shù)。該誤差的產(chǎn)生原因在于擴散過程的變化。
第三是線性誤差:這是一個對HYDAC壓力傳感器初始誤差影響較小的因素,該誤差的產(chǎn)生原因在于硅片的物理非線性,但對于帶放大器的傳感器,還應包括放大器的非線性。線性誤差曲線可以是凹形曲線,也可以是凸形曲線稱重傳感器。
zui后是滯后誤差:在大多數(shù)情形中,HYDAC壓力傳感器的滯后誤差*可以忽略不計,因為硅片具有很高的機械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。
賀德克壓力傳感器以機械結(jié)構(gòu)型的器件為主,以彈性元件的形變指示壓力,但這種結(jié)構(gòu)尺寸大、質(zhì)量重,不能提供電學輸出。隨著半導體技術(shù)的發(fā)展,半導體HYDAC壓力傳感器也應運而生。其特點是體積小、質(zhì)量輕、準確度高、溫度特性好。特別是隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展,半導體傳感器向著微型化發(fā)展,而且其功耗小、可靠性高。
在選擇HYDAC賀德克壓力傳感器HDA4745系列的時候我們要考慮他的綜合精度,而HYDAC壓力傳感器的精度受哪些方面的影響呢?其實造成傳感器誤差的因素有很多,下面我們注意說四個無法避免的誤差,這是傳感器的初始誤差。
賀德克壓力傳感器
HDA3845-B-060-000 HDA3845-B-100-000 HDA3845-B-250-000 HDA3845-B-400-000 HDA3845-B-600-000
HDA3845-E-006-000 HDA3845-E-060-000 HDA3845-E-250-000 HDA3845-E-400-000 HDA3845-E-600-000
HDA3846-A-060-000 HDA3846-A-250-000 HDA3846-A-400-000 HDA4444-A-016-000 HDA4444-A-060-000
HDA4444-A-100-000 HDA4444-A-250-000 HDA4444-A-400-000 HDA4444-A-400-031 HDA4444-A-600-000