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納米平移臺（壓電馬達型，10-1500mm行程）
XLS系列線性位移平臺，是由超聲波壓電馬達驅動，可提供不同行程的精確定位。由于采用超聲波壓電馬達驅動，速度可達到200mm/s，并且該平臺非常適用于掃描，可提供恒定的掃描速度，速度不穩(wěn)定性低于2%。
該平臺采用超聲波馬達，對于這種馬達平臺的運動是通過接觸點的橢圓振蕩產生。如下圖所示。通過橢圓的振蕩推動平臺產生微小移動，并通過高頻率產生*的速度，并且沒有噪聲，電機在定位后可產生自鎖，由于馬達在橢圓振蕩的上端才會與平臺接觸，大大提高平臺的使用壽命通常在10-100km。
XLS系列平臺可提供不同的行程，行程范圍可達到100mm。為了適應不同精度要求的應用，平臺集成不同精度的位置傳感器，目前可提供的位置傳感器有1.25μm；330nm；78nm和1nm具體參數(shù)如下圖所示：
此外根據(jù)不同應用可以選擇不同行程的平臺，可提供平臺行程參數(shù)如下：
此外，由于該平臺采用模塊化設計，可以組成多維位移平臺，例如：XY;XYZ,XYQ等。并且可以提供真空兼容和非磁位移平臺。
主要特點：
l 大行程 （100mm）
l 高精度（25nm）
l 高速度（100mm/s）
l 支持斷電自鎖
l 可在真空和非磁環(huán)境
主要應用：
l 光電子學
l 掃描電子顯微鏡
l 半導體生產
l 醫(yī)學和材料科學
l 生命科學與生物技術學
l 顯微鏡和計量學
納米平移臺（壓電馬達型，10-1500mm行程）
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