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quDIS-皮米精度位移激光干涉儀
  • quDIS-皮米精度位移激光干涉儀

貨物所在地:上海上海市

更新時間:2024-08-30 17:22:07

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昊量光電推出的皮米精度位移干涉測量儀quDIS是對納米級別的位移波動進(jìn)行量測的理想儀器,基于其*的測量原理,相對距離的重復(fù)精度達(dá)到了50皮米。quDIS可同時支持三個測量通道,使其可以適用于任意的多軸測量中。quDIS在原理上同樣采用激光干涉法,不過與傳統(tǒng)激光干涉儀相比,其集成了法珀腔(Reference cavity)及飽和吸收氣室(GC)作為頻率校準(zhǔn)參考,通過皮米精度位移激光干涉儀

皮米精度位移激光干涉儀

昊量光電推出的皮米精度位移干涉測量儀quDIS是對納米級別的位移波動進(jìn)行量測的理想儀器,基于其*的測量原理,相對距離的重復(fù)精度達(dá)到了50皮米。quDIS可同時支持三個測量通道,使其可以適用于任意的多軸測量中。quDIS在原理上同樣采用激光干涉法,不過與傳統(tǒng)激光干涉儀相比,其集成了法珀腔(Reference cavity)及飽和吸收氣室(GC)作為頻率校準(zhǔn)參考,通過激光波長調(diào)諧掃描,比較兩種不同的干涉圖樣,可以實現(xiàn)其它設(shè)備所不具有的絕對距離測量,基于這種測量方式,使得quDIS相對其他產(chǎn)品測量距離可以達(dá)到20M的同時保持高精度,且與信號對比度和強(qiáng)度無關(guān),由于使用整個干涉模式來提取位移信息,因此不存在非線性誤差。此外,quDIS不僅可以獲得位置、速度和加速度等信息,折射率、反射率或表面傾斜度等信息也可以從實時信號中提取得到。


皮米精度位移激光干涉儀產(chǎn)品特點:

  • 多維度多通道位移干涉器,操作簡單,即插即用

  • 相對距離和絕對距離測量

  • 完善的全套系統(tǒng)配置

  • 實時輸出數(shù)字化圖像

  • 針對不同應(yīng)用提供各種傳感接頭及反射模塊組合解決方案

  • 長期使用保證穩(wěn)定性

  • 兼容真空與各種惡劣環(huán)境


皮米精度位移激光干涉儀*優(yōu)勢:

  • 絕對距離高精度測量!

  • 不存在非線性及周期性誤差!

  • 相對距離信號穩(wěn)定性<0.05nm!

  • 工作距離最大20m(與傳感頭相關(guān))

  • 目標(biāo)最大速度1m/s

  • 三個傳感接口,可實現(xiàn)多設(shè)備同步

  • 探測器分辨率達(dá)到1pm


皮米精度位移激光干涉儀應(yīng)用領(lǐng)域:

  •  極限環(huán)境下振動分析

  •  緩慢漂移及熱膨脹檢測

  •  精密設(shè)備位置控制

  •  納米級位移測量

  •  層狀結(jié)構(gòu)中間隙和邊緣的測量

  •  位移和振動精度評估


皮米精度位置測量儀參數(shù)列表:

干涉儀傳感
光源DFB激光器分辨率1pm
功率<400uW相對距離穩(wěn)定性< 0.05nm
波長1535nm絕對距離精度<0.2nm/mm
線寬<5MHz帶寬25kHz
傳感器通道3工作距離0.1—20m
光纖輸入端口FC Narrow-Key-Slot目標(biāo)速度<1m/s
Mating Sleeves傳感頭真空
同步多臺設(shè)備同步低溫












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