東京精密E-TS-1070B 精度演算誤差方式介紹

１．在G1?G2接觸子間放入微動臺。

２．先移動G1接觸子、控制部指示値為行程量的一半時，（－210～－220μｍ）固定接觸子。

３．然后移動G2接觸子、控制部指示値為０μｍ時固定接觸子。

４．微動臺朝返回方向返回100μｍ(－100μｍ)、確認(rèn)控制部 指示値。

５．微動臺至進給原位置（零位置）、確認(rèn)控制部 指示値為0μm〔注１〕。

６．微動臺在進給方向進給100μm(＋100μm)、確認(rèn)控制部指示値。

 ７．微動臺回到原位置（零位置）、確認(rèn)控制部指示値為0μm〔注１〕。

８．0μm→－100μm的指示値與0μm→＋100μm的指示値不超過1.5μm。

 ９．0μm→－100μm的指示値與0μm→＋100μm的指示値的差超過1.5μm時需再調(diào)整、重復(fù)[１．]～[８．]的作業(yè)。不超過時進行接下來的檢查。

〔注１〕 微動臺在原位置（零位置）時、控制部指示値不為0μm時、需調(diào)整接觸子重復(fù)〔４．〕～〔６．〕的作業(yè)。

　※ 為減少演算誤差需進行絞合線單體感度測量（別紙）。