FE-SEM獲得的圖像分辨率高，信息豐富，樣品處理相對(duì)簡單，并且它可以觀察、測量并分析樣品的細(xì)微結(jié)構(gòu)，因此被廣泛應(yīng)用于納米技術(shù)、半導(dǎo)體、電子器件、生命科學(xué)、材料等領(lǐng)域。

近年來，以Materials Integration為代表，其應(yīng)用領(lǐng)域及用途在不斷擴(kuò)展，短時(shí)間內(nèi)獲取大量數(shù)據(jù)，減輕作業(yè)負(fù)荷成為市場的一大需求。為滿足這一需求，此次特推出的SU8700作為一款面向新時(shí)代的SEM，在日立電鏡貫有的高圖像質(zhì)量和高穩(wěn)定性的基礎(chǔ)上，增加了包括自動(dòng)獲取數(shù)據(jù)等高通量的功能。

SU8700可配置各種分析附件，適用于從低加速觀察到高束流的EBSD分析，支持陶瓷、金屬等不同材料的解析。該系列產(chǎn)品的特點(diǎn)如下：

1．支持自動(dòng)獲取數(shù)據(jù)

在FE-SEM的觀察和分析中，需要根據(jù)測量樣品與需求調(diào)整觀察條件。調(diào)整所需時(shí)間的長短取決于用戶的操作熟練度，這是造成數(shù)據(jù)質(zhì)量與效率差異的因素之一。此系列產(chǎn)品標(biāo)配自動(dòng)調(diào)整功能，可避免人為操作導(dǎo)致的差異。

此外，隨著儀器性能的提升，需要獲取的數(shù)據(jù)種類與數(shù)量也在增加，手動(dòng)獲取各種大量數(shù)據(jù)會(huì)大大增加用戶的作業(yè)負(fù)擔(dān)。此系列產(chǎn)品可選配“EM Flow Creator"，用戶可根據(jù)自身需求設(shè)定條件，自動(dòng)獲取數(shù)據(jù)，這對(duì)于未來通過獲取大量數(shù)據(jù)實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)開發(fā)起到重要作用。

2．增加獲取信息的種類與數(shù)量

通過SEM能夠收集到多種信號(hào)，且此系列產(chǎn)品最多可以同時(shí)顯示和存儲(chǔ)6個(gè)檢測器的信號(hào)。在減少圖像獲取次數(shù)的同時(shí)能夠獲取多種信息。

此外，為一次性獲取大量信息，單次掃描像素?cái)U(kuò)展到了40,960 x 30,720（選配），是之前型號(hào)的64倍。利用這一功能，可憑借一張數(shù)據(jù)圖像有效評(píng)估多處局部的細(xì)微結(jié)構(gòu)。

3．增強(qiáng)信號(hào)檢測能力

SU8700的樣品倉設(shè)計(jì)巧妙，可使用短工作距離進(jìn)行EDS分析，通過提高EDS分析的空間分辨率，能夠?qū)崿F(xiàn)更微小部位的分析。