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產(chǎn)品簡介
此次推出的SU7000采用全新設(shè)計的探測器，使得對二次電子信號、背散射電子信號的檢測以及分離能力大大提升。
詳細(xì)介紹
以前我們要根據(jù)不同的觀察信號來調(diào)整樣品與透鏡之間的距離（工作距離／以下簡稱WD），以獲得最佳的觀察與分析條件，而SU7000通過新研發(fā)的樣品倉以及檢測器系統(tǒng)，可在同樣的WD的條件下更高效地接收各種信號，縮短了樣品觀察和分析的時間，提高了測試效率?！?/span>
而且，日立SU7000熱場發(fā)射掃描電鏡還配置了可同時6通道顯示界面（前代機型只能同時顯示4通道），進一步升級電鏡控制系統(tǒng)，大幅提高了信號獲取速度，由此實現(xiàn)了樣品的高效率觀察。它還標(biāo)配超大樣品倉，增設(shè)了附件接口，可適用于各種樣品的觀察與分析。
日立SU7000熱場發(fā)射掃描電鏡主要特點：
在相同的WD條件下，可同時實現(xiàn)二次電子，背散射電子觀察與X射線能譜分析。
可同時實現(xiàn)6通道檢測與顯示；
成像分辨率最大可達10240x7680像素；
配置18個附件接口，支持低至300Pa的低真空模式觀察；（選配）