TSI 7110激光粒子計數(shù)器
TSI 公司 7110 型遠程粒子計數(shù)器可實現(xiàn)小至 100nm(納米)粒子的精確測量。它所使用的氦氖激光技術(shù)可以大大程度提高信噪比。這款儀器可應(yīng)用在潔凈房間的監(jiān)測,過程監(jiān)控和過濾膜測試。由于該粒子計數(shù)器使用外接真空源,因此該產(chǎn)品具有大的靈活性。
該型號粒子計數(shù)器可以容易地與在線監(jiān)測系統(tǒng)兼容,可以與 TSI 公司的 FMS 5 在線監(jiān)測系統(tǒng)一樣捕獲和分析數(shù)據(jù)。具體來說,當(dāng)與 FMS 5 的結(jié)合使用時,相當(dāng)于一個強大的統(tǒng)計工具。這款粒子計數(shù)器可存儲高達 2000 個樣品記錄。
7110 型遠程粒子計數(shù)器嚴格遵從ISO 21501-4 協(xié)議。它通過標準的粒子測量方法來進行校驗,即使用來自美國國家標準及技術(shù)研究所的PSL小球通過TSI的篩分器和凝結(jié)式粒子計數(shù)器。基于 2 年質(zhì)保和 TSI 公司長期良好的售后保障,其質(zhì)量過硬,是目前市場上高精度,大流量,高靈敏度的遠程粒子計數(shù)器。
特性和優(yōu)點
●可精確測量小至 0.100 μm 的粒子
●粒徑范圍為 0.100 至 5.0 μm
●最多可同時測量八個通道數(shù)據(jù)
●流量為 28.3 升/分鐘 (1立方英尺)
●最多可同時測量四個通道數(shù)據(jù)
●符合 ISO 21501-4 要求
●使用增強的氦氖激光器
●高度可重復(fù)和可靠的測量 / 數(shù)據(jù)
●數(shù)據(jù)存儲量為 2000 個
●以太網(wǎng)的 Modbus® RTU 的,RS - 485 接口的 Modbus® RTU 或脈沖輸出
●狀態(tài)指示方便辨識
●可輕松與在線監(jiān)控系統(tǒng)兼容
●不銹鋼外殼
●可方便連接外部真空泵
●兩年質(zhì)保
●可方便連接外部真空泵
●兩年質(zhì)保
TSI 7110激光粒子計數(shù)器技術(shù)參數(shù)
粒徑范圍:0.100-5.0 μm
粒徑分辨率:7110-05: 0.10, 0.15, 0.2, 0.25, 0.3, 0.5,1.0 和 5.0 μm
粒徑分辨率:在 0.2 μm 時 <15%(符合 ISO 21501-4)
計數(shù)效率:0.100 μm時50%, 大于0.15 μm時100%(符合 ISO 21501-4 和 JIS)
濃度限制:大于40,000個/立方英尺時最高損失5%
激光源:增強的氦氖激光器
調(diào)零:每5分鐘 <1個(符合ISO 21501-4和 JIS)
流量:28.3 升 / 分鐘(1 立方英尺)
真空需求:外部真空>38.1cm Hg
校驗:源于 NIST 的 TSI 校驗系統(tǒng)
校驗頻率:建議至少每年一次
采樣模式:手動或自動
通訊模式:Modbus 通過 RS-485 ,以太網(wǎng),4 路CEMS 的脈沖或串行 RS - 232
數(shù)據(jù)存儲量:2000 個數(shù)據(jù)記錄
狀態(tài)指示:電量,服務(wù),采樣和流量
警報輸出:干觸點,報警時關(guān)閉
軟件:兼容 FMS 5
表面材質(zhì):不銹鋼
尺寸(高 x 寬 x 高):13.4cmx12.7x45.6cm
重量:5.23 千克
電量:110-240VAC
標準:ISO 21501-4,CE,JIS B9921
質(zhì)保:兩年,可延長
操作范圍:10-35℃,20%-95% 非結(jié)露
貯藏范圍:0-50℃,98% 非結(jié)露
包含配件:說明書,CD-ROM 操作手冊,采樣口,電源適配器
可選配件:等速采樣口,等速探頭,過濾器,采樣管和真空管