半導(dǎo)體業(yè)的測(cè)量和生產(chǎn)設(shè)備海德漢光柵尺
LIC 2119，LIC 2199 式直線光柵尺，大測(cè)量長(zhǎng)度3 m
• 測(cè)量步距0.1 µm或0.05 µm
• 鋼光柵尺帶嵌入在安裝面中
• 由光柵尺和讀數(shù)頭組成
規(guī)格 | LIC 2109 | |
測(cè)量標(biāo)準(zhǔn) 線膨脹系數(shù) | 軌道鋼卷尺 αtherm？10 x 10–6 k–1 |
精度等級(jí) | ±15 µm |
測(cè)量長(zhǎng)度ml*in mm | 120 320 520 770 1020 1220 1520 2020 2420 3020 (根據(jù)要求測(cè)量長(zhǎng)度大于6020 mm) |
質(zhì)量 | 20 g/m |
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讀數(shù)頭 | LIC 211 | LIC 219 F | LIC 219 M | LIC 219 P |
界面 | EnDat 2.2 | Fanuc串行接口 αi界面 | 三菱高速接口 | 松下串行接口 |
訂購(gòu)名稱* | EnDat22 | Fanuc05 | Mit03-4 | Mit02-2 | Pana01 |
測(cè)量步驟* | 0.1 µm (100 nm) 0.05 µm (50 nm) |
計(jì)算時(shí)間tcal 時(shí)鐘頻率 | ≤ 5 µs ≤ 16 MHz | – – |
橫移速度1） | ≤ 600 m/min |
插值誤差 | ±2 µm |
電氣連接* | 電纜，1 m或3 m，帶8針M12接頭（公接頭）或15 D-Sub接頭（公接頭） |
電纜長(zhǎng)度（帶海德漢電纜） | ≤ 100 m | ≤ 50 m | ≤ 30 m | ≤ 50 m |
電壓供應(yīng) | DC 3.6 V to 14 V |
功耗1（大） | At 3.6 V: ≤ 700 mW At 14 V: ≤ 800 mW | At 3.6 V: ≤ 850 mW At 14 V: ≤ 950 mW |
電流消耗
（典型） | At 5 V: 75 mA (without load) | At 5 V: 95 mA (without load) |
振動(dòng) 55 Hz to 2000 Hz 沖擊 6 ms | ≤ 500 m/s2 (EN 60068-2-6) ≤ 1000 m/s2 (EN 60068-2-27) |
工作溫度 | –10 °C to 70 °C |
質(zhì)量掃描頭 連接電纜 連接器 | ≤ 18 g (without cable) 20 g/m M12接頭：15g；D-Sub接頭：32g |
*訂購(gòu)時(shí)請(qǐng)選擇 1）參見海德漢編碼器手冊(cè)接口中的一般電氣信息。 |
如有需要詳情，請(qǐng)見： 半導(dǎo)體業(yè)的測(cè)量和生產(chǎn)設(shè)備海德漢光柵尺
安裝指導(dǎo)
光柵尺線位移傳感器的安裝比較靈活，可安裝在機(jī)床的不同部位。
一般將主尺安裝在機(jī)床的工作臺(tái)（滑板）上，隨機(jī)床走刀而動(dòng)，讀數(shù)頭固定在床身上，盡可能使讀數(shù)頭安裝在主尺的下方。其安裝方式的選擇必須注意切屑、切削液及油液的濺落方向。如果由于安裝位置限制必須采用讀數(shù)頭朝上的方式安裝時(shí)，則必須增加輔助密封裝置。另外，一般情況下，讀數(shù)頭應(yīng)盡量安裝在相對(duì)機(jī)床靜止部件上，此時(shí)輸出導(dǎo)線不移動(dòng)易固定，而尺身則應(yīng)安裝在相對(duì)機(jī)床運(yùn)動(dòng)的部件上（如滑板）。
1、光柵尺線位移傳感器安裝基面
安裝光柵尺傳感器時(shí)，不能直接將傳感器安裝在粗糙不平的機(jī)床身上，更不能安裝在打底涂漆的機(jī)床身上。光柵主尺及讀數(shù)頭分別安裝在機(jī)床相對(duì)運(yùn)動(dòng)的兩個(gè)部件上。用千分表檢查機(jī)床工作臺(tái)的主尺安裝面與導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)的方向平行度。千分表固定在床身上，移動(dòng)工作臺(tái)，要求達(dá)到平行度為0.1mm/1000mm以內(nèi)。如果不能達(dá)到這個(gè)要求，則需設(shè)計(jì)加工一件光柵尺基座。
基座要求做到：(1)應(yīng)加一根與光柵尺尺身長(zhǎng)度相等的基座（hao基座長(zhǎng)出光柵尺50mm左右）。(2)該基座通過銑、磨工序加工，保證其平面平行度0.1mm/1000mm以內(nèi)。另外，還需加工一件與尺身基座等高的讀數(shù)頭基座。讀數(shù)頭的基座與尺身的基座總共誤差不得大于±0.2mm。安裝時(shí)，調(diào)整讀數(shù)頭位置，達(dá)到讀數(shù)頭與光柵尺尺身的平行度為0.1mm左右，讀數(shù)頭與光柵尺尺身之間的間距為1~1.5mm左右。
2、光柵尺線位移傳感器主尺安裝
將光柵主尺用M4螺釘上在機(jī)床安裝的工作臺(tái)安裝面上，但不要上緊，把千分表固定在床身上，移動(dòng)工作臺(tái)（主尺與工作臺(tái)同時(shí)移動(dòng)）。用千分表測(cè)量主尺平面與機(jī)床導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)方向的平行度，調(diào)整主尺M(jìn)4螺釘位置，使主尺平行度滿足0.1mm/1000mm以內(nèi)時(shí)，把M2螺釘*上緊。
在安裝光柵主尺時(shí)，應(yīng)注意如下三點(diǎn)：
(1) 在裝主尺時(shí)，如安裝超過1.5M以上的光柵時(shí)，不能象橋梁式只安裝兩端頭，尚需在整個(gè)主尺尺身中有支撐。(2)在有基座情況下安裝好后，hao用一個(gè)卡子卡住尺身中點(diǎn)（或幾點(diǎn)）。(3)不能安裝卡子時(shí)，hao用玻璃膠粘住光柵尺身，使基尺與主尺固定好。
3、光柵尺線位移傳感器讀數(shù)頭的安裝
在安裝讀數(shù)頭時(shí)，首先應(yīng)保證讀數(shù)頭的基面達(dá)到安裝要求，然后再安裝讀數(shù)頭，其安裝方法與主尺相似。后調(diào)整讀數(shù)頭，使讀數(shù)頭與光柵主尺平行度保證在0.1mm之內(nèi)，其讀數(shù)頭與主尺的間隙控制在1~1.5mm以內(nèi)。
4、光柵尺線位移傳感器限位裝置
光柵線位移傳感器全部安裝完以后，一定要在機(jī)床導(dǎo)軌上安裝限位裝置，以免機(jī)床加工產(chǎn)品移動(dòng)時(shí)讀數(shù)頭沖撞到主尺兩端，從而損壞光柵尺。另外，用戶在選購(gòu)光柵線位移傳感器時(shí)，應(yīng)盡量選用超出機(jī)床加工尺寸100mm左右的光柵尺，以留有余量。
5、光柵尺線位移傳感器檢查
光柵線位移傳感器安裝完畢后，可接通數(shù)顯表，移動(dòng)工作臺(tái)，觀察數(shù)顯表計(jì)數(shù)是否正常。
在機(jī)床上選取一個(gè)參考位置，來回移動(dòng)工作點(diǎn)至該選取的位置。數(shù)顯表讀數(shù)應(yīng)相同（或回零）。另外也可使用千分表（或百分表），使千分表與數(shù)顯表同時(shí)調(diào)至零（或記憶起始數(shù)據(jù)），往返多次后回到初始位置，觀察數(shù)顯表與千分表的數(shù)據(jù)是否*。
通過以上工作，光柵尺線位移傳感器的安裝就完成了。但對(duì)于一般的機(jī)床加工環(huán)境來講，鐵屑、切削液及油污較多。因此，傳感器應(yīng)附帶加裝護(hù)罩，護(hù)罩的設(shè)計(jì)是按照傳感器的外形截面放大留一定的空間尺寸確定，護(hù)罩通常采用橡皮密封，使其具備一定的防水防油能力
