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S neox-3D光學(xué)輪廓顯微鏡
  • S neox-3D光學(xué)輪廓顯微鏡

貨物所在地:北京北京市

地: 西班牙

更新時間:2024-09-07 21:00:06

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3D光學(xué)輪廓顯微鏡使用光學(xué)輪廓儀,其共聚焦部分的主要是有著發(fā)光效率的照明硬件和高對比度算法。這些特點使系統(tǒng)成為測量有著陡峭斜面、粗糙的、反光表面和含有異種材料樣品的理想設(shè)備。干涉光學(xué)系統(tǒng)和集成壓電掃描器是干涉輪廓儀部分的關(guān)鍵。這項技術(shù)對于測量非常光滑至適度粗糙的表面比較理想。這些技術(shù)的組合為輪廓儀提供了應(yīng)用領(lǐng)域。

 產(chǎn)品特點:

3D光學(xué)輪廓顯微鏡特點:
一款*的3D光學(xué)測量儀
整合了微型三坐標測量系統(tǒng)和表面粗糙度測量系統(tǒng)的功能。
LED環(huán)形燈的設(shè)計,使表面測量的范圍幾乎不受限制。
高分辨,高可重復(fù)性和可溯源
即使對于復(fù)雜樣品表面,仍可以獲得高達10納米的垂直分辨率
高測量速度
測量速度可以達到170萬點/秒。
模塊化和可擴展性
新的功能可以很容易通過擴展測量模式整合
全自動
測量簡單且自動化程度高,如自動更換物鏡等

3D光學(xué)輪廓顯微鏡S neox的主要技術(shù)參數(shù):
位移范圍(X軸、Y軸、Z軸):100mm×100mm×100mm
樣品表面結(jié)構(gòu):表面形貌Ra>9nm,Lc=2µm,取決于表面結(jié)構(gòu)
樣品高度:100mm ~ 345mm
樣品重量:30kg。
水平分辨率:0.44µm
垂直分辨率:10nm
掃描高度:22.5mm
擴展視野范圍:10000mm2
單一方向掃描范圍:100mm
測量速度:170萬個測量點/秒
小測量高度:0.01µm
測量高度:22.5mm
測量范圍:10000mm2
測量形貌長度:100mm
小可重復(fù)性:0.001µm
小測量粗糙度(Ra):0.03µm
小測量粗糙度(Sa):0.015µm
小測量半徑:1µm
小測量垂直角度:20°
大測量傾斜角度:87°

 

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