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研究論文RESEARCH
1 位移傳感器組成原理
產(chǎn)品分類品牌分類
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壓力傳感器 Profinet網(wǎng)絡(luò)模塊 磁致伸縮位移傳感器 連接器 行程開關(guān) 電感式激光測(cè)量 接觸介質(zhì)的電容式液位傳感器 高頻讀/寫頭 中繼傳輸開關(guān) 位移傳感器 磁敏電容開關(guān) 機(jī)電限位開關(guān) 模擬位移開關(guān) RFID系統(tǒng) 耐高壓接近開關(guān) 連接電纜 安全繼電器 過程自動(dòng)化產(chǎn)品 工廠自動(dòng)化產(chǎn)品 角度編碼器 物流自動(dòng)化產(chǎn)品 限位開關(guān) 光電開關(guān) 壓力開關(guān) 感應(yīng)式線性位移傳感器 接近開關(guān)
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
巴魯夫直線位移傳感器
位移傳感器是用來測(cè)量位移、距離、位置和應(yīng)變量等長(zhǎng)度尺寸的計(jì)量器具。以浮子式位移傳感器（圖1）為例，它由電纜、波導(dǎo)絲、測(cè)桿、浮子等元器件組成。位移傳感器輸出主要形式為電信號(hào)，如：不同頻率的脈沖
信號(hào)、電壓或電流等模擬量，也有部分位移傳感器集成了信號(hào)轉(zhuǎn)化功能，直接以數(shù)字方式或其他方式輸出長(zhǎng)度值。其校準(zhǔn)技術(shù)JJF1305–2011《線位移傳感器校準(zhǔn)規(guī)范》規(guī)范中只給出了安裝原則，卻沒有給出具體的實(shí)施
方案[4]，因此位移傳感器的校準(zhǔn)技術(shù)研究非常必要。
2 校準(zhǔn)系統(tǒng)的硬件組成
位移傳感器校準(zhǔn)系統(tǒng)硬件主要由激光干涉儀、光柵尺、校準(zhǔn)臺(tái)、位移驅(qū)動(dòng)控制系統(tǒng)、夾具組件等組成，以激光干涉儀為基準(zhǔn)，以高精度氣浮導(dǎo)軌作為運(yùn)動(dòng)單元，通過直線電機(jī)帶動(dòng)氣吸附滑塊在導(dǎo)軌上運(yùn)動(dòng)，給出水平運(yùn)動(dòng)方向的標(biāo)準(zhǔn)長(zhǎng)度量，并配合夾具，實(shí)現(xiàn)位移傳感器自動(dòng)校準(zhǔn)。
2.1 激光干涉系統(tǒng)
干涉儀光束進(jìn)入線性干涉鏡被分成兩束。一束光被引向裝在分光鏡上的反射鏡，另一束光則穿過分光鏡到達(dá)第2 個(gè)反射鏡，終兩束光都被反射回分光鏡，在此它們重新組合并被導(dǎo)回激光頭產(chǎn)生干涉。在線性測(cè)量過程中，一個(gè)光學(xué)組件保持靜止不動(dòng)，另一個(gè)光學(xué)組件沿線性軸移動(dòng)。通過監(jiān)測(cè)測(cè)量光束和參考光束之間的光路差異的變化，產(chǎn)生定位精度測(cè)量值。
巴魯夫直線位移傳感器
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