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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
巴魯夫直線位移傳感器
基于傳統(tǒng)的位移傳感器校準(zhǔn)存在摩擦、空程等缺陷問題,提出了一種量程為0~3000mm 高精度校準(zhǔn)方案。該方案以激光干涉儀為基準(zhǔn),直線電機(jī)配合氣浮導(dǎo)軌為驅(qū)動(dòng)單元,創(chuàng)新型光柵實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制,使定位精度在3μm/m量級(jí)。位移傳感器校準(zhǔn)時(shí),通過六個(gè)自由度的可調(diào)夾具,使位移傳感器運(yùn)動(dòng)方向與標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量方向在同一條直線上,可實(shí)現(xiàn)阿貝誤差的大化消除。尤其針對(duì)特殊的浮子式傳感器校準(zhǔn),通過設(shè)計(jì)夾具配合支撐點(diǎn)消除變形的校準(zhǔn)方式,解決了測(cè)桿在校準(zhǔn)過程存在的形變難題。同時(shí),校準(zhǔn)裝置不確定度的評(píng)定和驗(yàn)證,表明該校準(zhǔn)方法可行有效。
關(guān)鍵詞:大量程;高精度;位移傳感器;校準(zhǔn);浮子式
鑒于此,本文以高精度、大量程、自動(dòng)化為目標(biāo),采用激光干涉儀作為基準(zhǔn),直線電機(jī)作為驅(qū)動(dòng)單元,氣浮導(dǎo)軌作為運(yùn)動(dòng)單位,光柵尺實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制方式,自動(dòng)采集和處理校準(zhǔn)數(shù)據(jù),以實(shí)現(xiàn)位移傳感器的自動(dòng)化校準(zhǔn)。此外,針對(duì)浮子式位移傳感器測(cè)桿變形問題,設(shè)計(jì)夾具配合支撐點(diǎn)消除變形的校準(zhǔn)方式,其中,夾具由升降V 形組合體、浮子傳感器磁環(huán)組合體、滑輪支撐組合體,T 形槽板四部分組成,可實(shí)現(xiàn)六個(gè)自由度旋轉(zhuǎn)調(diào)整。該校準(zhǔn)技術(shù)可根據(jù)桿的彎曲情況選擇合適的位置點(diǎn)滑輪支撐組合體,通過后期微調(diào)夾具,解決浮球式傳感器在校準(zhǔn)過程中存在的測(cè)桿撓度難題。
巴魯夫直線位移傳感器
主營(yíng)德國(guó)進(jìn)口備件:巴魯夫BALLUFF
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