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　　簡介

　　Sievers*M9e總有機碳（TOC）分析儀的“加壓集成在線取樣器（PiOS，Pressurized Integrated On-Line Sampler）"配件專用于加強微電子應用中的超純水（UPW）系統的有機物監(jiān)測能力。在微電子應用中（TOC通常小于5 ppb），監(jiān)測水質的微小變化至關重要，能夠確保最終產品質量和優(yōu)化處理工藝。

　　當要監(jiān)測的濃度很低時，總碳（TC）和無機碳（IC）的值非常接近，因此TOC測量值（TOC=TC-IC）會受信噪等干擾因素的影響。周圍環(huán)境中的微氣泡就是這種干擾源之一，會導致意外的TOC峰值。PiOS能給分析儀中的樣品加壓3-5 psig，抑制氣泡的形成，確保分析儀在低濃度下進行準確的分析。

　　驗證Pios

　　在下列條件下進行測試，驗證配置了“加壓集成在線取樣器（PiOS）"和“標準集成在線取樣器（iOS）"的分析儀的低TOC分析性能：

　　?正常運行模式

　　?Turbo運行模式

　　?各標樣的TOC回收率

　　?各種環(huán)境溫度、入口壓力、樣品溫度PiOS不影響系統任務的運行，其中包括校準、確認、儀器檢測限等系統任務。在微電子車間進行的外部測試的結果表明，使用PiOS時能夠報告穩(wěn)定的亞ppb級的TOC分析結果。本文將在后面的部分中詳細報告此驗證的結果。

　　降低噪聲和峰值

　　與標準iOS相比，PiOS能夠減少低TOC分析結果中的TOC峰值和點對點噪聲（見圖1a和1b）。

　　此外，在長時間的低TOC（<1 ppb）測試中，PiOS能夠報告穩(wěn)定的結果和可靠的“儀器到儀器"一致性，如圖2所示。

　　與配置標準iOS的Sievers 900 TOC分析儀相比，配置PiOS的Sievers M9e TOC分析儀的分析結果顯示出更好的穩(wěn)定性和更少的小尖峰（圖3）。

　　結論

　　PiOS在低濃度（< 5 ppb TOC）應用中有更好的有機物監(jiān)測性能，其良好的穩(wěn)定性、準確性、“儀器到儀器"一致性對監(jiān)測超純水系統來說至關重要。PiOS可安裝于Sievers M9e便攜式分析儀和在線型分析儀，可以安裝在新分析儀上，也可以作為現有分析儀的升級配置。

　　有了PiOS，M9e就能有效監(jiān)測整個超純水處理過程中的有機污染物，如有機氮化合物和有機酸。PiOS能夠不受干擾，提供穩(wěn)定、準確、可靠的分析數據，從而優(yōu)化分析儀的在線TOC分析，更有效地監(jiān)測低ppb甚至亞ppb級的超純水系統。

　　參考文獻：

　　1.Operation,Calibration,and Autozero Guidance for TOC Monitoring in Microelectronics UPW Applications.GE Analytical Instruments.2015.Web.2 Jun 2016.

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