plusSL10.100直流電源
Plus 系列Advanced Energy (AE) 的 Pinnacle® Plus 電源為單體直流脈沖電源，為您的反應工藝提供脈沖直流電解決方案所有優(yōu)點，包括使用簡單、節(jié)約成本以及具有的靈活性。結合標準直流電技術和經(jīng)過工藝證明的脈沖直流電技術，Pinnacle Plus 電源與復雜而昂貴的交流電解決方案相比，沉積率更高，重復性能更好，薄膜質(zhì)量更為優(yōu)異。優(yōu)勢:
更高的沉積率與產(chǎn)品率
薄膜均勻性和品質(zhì)
成弧造成的基材損壞減少
成本更低
系統(tǒng)整合容易
的工藝靈活性和寬容度
重復性能
在過度曲線上運行穩(wěn)定
吞吐量更高
一個緊湊型封裝
頻率調(diào)節(jié)范圍為 5-350kHz
占空比大
電壓范圍寬——單輸出寬阻抗范圍
大功率運行
基材溫度低
單輸出（5kW 和 10kW 型號）
用于雙陰極生產(chǎn)的雙輸出（雙路5kW 型號）
反應性濺射閉環(huán)控制規(guī)格：
輸出功率：5KW單輸出、5KW雙輸出、10KW單輸出
電壓范圍：325-650VDC，可選325-800VDC輸出（寬Z）
輸出功率接頭：五個終端、DIN壓縮接頭；最大電線尺寸：＃6 AWG
輸出接頭：兩個終端、多個觸點、帶有應力釋放功能的可插入式接頭或UHF接頭
最大電流：
15.4ADC；15.4ADC/輸出；30.8ADC
頻率：5到350KHz，可變
反向電壓：工作電壓的0.1
點火功能：最大1500VDC，正常1350VDC
調(diào)節(jié)模式：功率、電壓或電流
交流線電壓：200/208、400或480VAC
電流：5KW：200/208VAC：標稱值17A/Φ
400VAC：標稱值8.5A/Φ
480VAC：標稱值7.5A/Φ
5KW雙輸出/10KW單輸出200/208VAC：標稱值35A/Φ
400VAC：標稱值17A/Φ
480VAC：標稱值15A/Φ
直流穩(wěn)壓電源是一種將220V工頻交流電轉換成穩(wěn)壓輸出的直流電壓的裝置，它需要經(jīng)過變壓、整流、濾波、穩(wěn)壓四個環(huán)節(jié)才能完成。 四個環(huán)節(jié)的工作原理如下：
(1)電源變壓器：是降壓變壓器，它將電網(wǎng)220V交流電壓變換成符合需要的交流電壓，并送給整流電路，變壓器的變比由變壓器的副邊電壓確定。
(2)整流濾波電路：整流電路將交流電壓Ui變換成脈動的直流電壓。再經(jīng)濾波電路濾除較大的紋波成分，輸出紋波較小的直流電壓U1。常用的整流濾波電路有全波整流濾波、橋式整流濾波等。
(3)濾波電路：可以將整流電路輸出電壓中的交流成分大部分加以濾除，從而得到比較平滑的直流電壓各濾波電容C滿足RL-C=(3~5)T/2，或中T為輸入交流信號周期，RL為整流濾波電路的等效負載電阻。
(4)穩(wěn)壓電路：穩(wěn)壓電路的功能是使輸出的直流電壓穩(wěn)定，不隨交流電網(wǎng)電壓和負載的變化而變化。常用的集成穩(wěn)壓器有固定式三端穩(wěn)壓器與可調(diào)式三端穩(wěn)壓器。常用可調(diào)式正壓集成穩(wěn)壓器有CW317(LM317)系列，它們的輸出電壓從1.25V-37伏可調(diào)，最簡的電路外接元件只需一個固定電阻和一只電位器。
plusSL10.100直流電源
