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愛德華EPX 180真空干泵
EPX 系列支持清潔和輕 型半導(dǎo)體加工應(yīng)用，如灰化/剝離和注入端點 站應(yīng)用。EPX 系列以極輕、極小的 封裝提供工具上泵送功能，可實現(xiàn)異常清潔的真空。EPX 泵 采用已獲zhuanli的*單軸再生 Holweck® 分級機構(gòu)，能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-7Torr 的極限壓力。EPX 泵能夠以模塊化組件 提供增強的性能，既可集成到制程工具，可以遠(yuǎn)程安裝
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
愛德華EPX 180真空干泵
應(yīng)用目標(biāo)應(yīng)用包括：負(fù)載鎖計量傳輸腔
灰化/剝離
PVD
愛德華EPX 180真空干泵
主要特性和優(yōu)勢
占地面積小且重量輕 - 作為可用的 小工具上泵之一，EPX 顯著節(jié)省了 占地面積。鋁制構(gòu)造使其重量輕巧，增加了安裝 選項。EPX 可以直接安裝到工具上，從而節(jié)省了前級管道和 安裝成本，如果需要也可遠(yuǎn)程使用。
受zhuanli保護(hù)的*泵機構(gòu) - EPX 可以從大氣壓抽空到 UHV 級基準(zhǔn)壓力并可在所有入口壓力下連續(xù)運轉(zhuǎn)。
超清潔機構(gòu) - 傳統(tǒng)的高真空軸承使用油脂潤滑，這可能成為制程 工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承油脂，并且不存在 任何其他的潛在污染源。
非?？煽?- EPX 具有大約 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年維修一次，zui大程度地延長了泵的 使用壽命。
運轉(zhuǎn)時的噪聲低至 56 dB(A)，可在潔凈室內(nèi)實現(xiàn)低噪聲。
泵系列
EPX180L、LE、N、NE
EPX180 TwinL、LE、N、NE
EPX500L、LE、N、NE
本公司作為愛德華中國區(qū)長期經(jīng)銷商以優(yōu)于同行的服務(wù)質(zhì)量和客戶至上的服務(wù)理念贏的廣大客戶的肯定和認(rèn)可 希望與更多愛德華及其他真空泵客戶合作共贏
縱鵬機械設(shè)備有限公司是一家長期服務(wù)于真空泵領(lǐng)域內(nèi)設(shè)備及配件的高科技企業(yè),注冊資產(chǎn)100萬,公司銷售人員達(dá)20余人,自公司成立一直致力于真空設(shè)備及配件的研究、推廣、銷售、安裝及維修領(lǐng)域。
本公司經(jīng)過多年不懈的努力，已擁有一支經(jīng)驗豐富的專業(yè)銷售團(tuán)隊及精英人員,所經(jīng)營的產(chǎn)品國內(nèi)外,公司以質(zhì)量優(yōu)良、操作簡單,高性價比及周到的售后服務(wù),使公司的效益得到迅速發(fā)展,為公司的長遠(yuǎn)發(fā)展打下牢固的基礎(chǔ)。
公司主要經(jīng)營:進(jìn)口真空泵品牌德國（BUSCH）普旭、德國（BECKER）貝克、德國 （LEYBOLD）菜寶、德國 （RIETSCHLE）里其樂、英國( EDWARDS)愛德華、韓國(MVO)斗一、日本 （ORION）好利旺、日本愛發(fā)科;自主品牌有單級旋片泵ZP系列，雙級真空泵ZS系列，羅茨真空泵ZLB系列，活塞泵ZH系列;并提供優(yōu)恵的真空泵配件(進(jìn)口):油霧分離器、碳精片、葉片、真空泵油、密封套件、空氣過濾器、軸承、單向閥、連軸器、止回閥、機油格等。
產(chǎn)品廣泛適用于:電光源、真空鍍腹、機械、光盤、治金、石油、化工、造紙、食品、醫(yī)藥、電子、電力、陶瓷、引水、印染、制糖、制冷設(shè)備、工藝吸塑、科研、干燥及汽車維修等單位。
售后服務(wù):公司擁有專業(yè)的維修技術(shù)人員及檢測設(shè)備,并長期提供真空泵技術(shù)指導(dǎo)及修理、維護(hù)、保養(yǎng)、檢測、咨詢等服務(wù);服務(wù)承諾:凡在本公司所購真空設(shè)備,均享有一年免費保修期,并終身提供技術(shù)支持。
公司秉承著"誠信為本、信譽至上"的宗旨,不斷創(chuàng)新改進(jìn),完善售后服務(wù)網(wǎng)絡(luò)。我們以*xiu的產(chǎn)品，zui可靠的質(zhì)量,*恵的價格,的的服務(wù),愿同各界朋友互相合作,開拓美好未來。
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