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真空鍍膜機核心--真空系統(tǒng)
真空鍍膜機是目前制作真空條件應用廣泛的設備?？梢苑譃殡娮诱舭l(fā)鍍膜機、磁控濺射鍍膜機、等離子鍍膜機、射頻鍍膜機、關學鍍膜機設備等等，但是他們的結構都一樣。
在真空鍍膜機中真空系統(tǒng)是核心的一個部件，為獲得必要的真空度，在真空鍍膜機中一般用機械泵、增壓泵、油擴散泵、冷凝泵、真空測量部分等組成一個完整的真空系統(tǒng)。
下面給大家詳細介紹真空系統(tǒng)各部分的組成及工作原理。
- 真空主體——真空腔
涂層設備主要有連續(xù)涂層生產線及單室涂層機兩種形式,不銹鋼材料制造、氬弧焊接、表面進行化學拋光處理,真空腔組件上焊有各種規(guī)格的法蘭接口。
根據(jù)加工產品要求的各異，真空腔的大小也不一樣，目前應用多的有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等，腔體由不銹鋼材料制作，要求不生銹、堅實等，真空腔各部分有連接閥，用來連接各抽氣泵浦。
- 輔助抽氣系統(tǒng)
此排氣系統(tǒng)采用“擴散泵+機械泵＋羅茨泵＋低溫冷阱＋polycold”組成
排氣流程為：機械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態(tài)，為擴散泵后繼抽真空提供前提，之后當擴散泵抽真空腔的時候，機械泵又配合油擴散泵組成串聯(lián)，以這樣的方式完成抽氣動作。
排氣系統(tǒng)為鍍膜機真空系統(tǒng)的重要部分，主要有由機械泵、增壓泵（主要介紹羅茨泵）、油擴散泵三大部分組成。
1、機械泵：也叫前級泵，機械泵是應用廣泛的一種低真空泵，它是用油來保持密封效果并依靠機械的方法不斷的改變泵內吸氣空腔的體積，使被抽容器內氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。
機械泵常常被用來抽除干燥的空氣，但不能抽除含氧量過高、有爆炸性和腐蝕性的氣體，機械泵一般被用來抽除氣體，但是對水氣沒有好的效果，所以它不能抽除水氣。旋片泵中起主要作用的部件是定子、轉子、彈片等，轉子在定子里面但與定子不同心軸，象兩個內切圓，轉子槽內裝有兩片彈片，兩彈片中間裝有彈簧，保證了彈片緊緊貼在定子的內壁。
機械泵是從大氣開始工作的，它的主要參數(shù)有極限真空，抽氣速率，此為設計與選用機械泵的重要依據(jù)。單級泵可以將容器從大氣抽到1.0*10-1PA的極限真空，雙級機械泵可以將容器從大氣抽到6.7*10-2帕，甚至更高。
2、增壓泵又叫羅茨泵：它是具有一對同步高速旋轉的雙葉形或多葉形轉子的機械泵，由于它的工作原理與羅茨鼓風機相同，所以又可以叫羅茨真空泵，此泵在100-1帕壓強范圍內有較大的抽氣速度，它彌補了機械泵在此范圍內排氣能力不足的缺點，此泵不能從大氣開始工作，也不能直接排出大氣，它的作用僅僅是增加進氣口和排氣口之間的壓差，其余的則需要機械泵來完成，因此，它必須配以機械泵作為前級泵。
3、油擴散泵：機械泵的極限真空只有10-2帕，當達到10-1帕的時候，實際抽速只有理論的1/10，如果要獲得高真空的話，必須采用油擴散泵。
油擴散泵的應用壓強范圍是10-1帕-10-7帕，它是利用氣體的擴散現(xiàn)象來排氣的，它具有結構簡單，操作方便，抽速大（高可以達到10+5升/秒）等特點。油擴散泵主要由泵殼、噴嘴、導流管和加熱器組成，里面主要添加擴散泵油（日本的型號是D-704#），根據(jù)噴嘴的多少可以分為單級泵和多級泵。
擴散泵底部內儲存有擴散泵油，上部為進氣口，右側旁下部為出氣口，在工作時出氣口由機械泵提供前置壓強，機械泵充當前置泵。
當擴散泵的油被電爐加熱時，產生的油蒸汽提供前置壓強，機械泵充當前置泵。當擴散泵油被電爐加熱時，產生的油蒸汽沿著導流管經傘形噴嘴向下噴出。因噴嘴外面有機械泵提供的1-10-1帕的真空，故油蒸汽可噴出一段距離，構成一個向出氣口方向運動的射流。射流后碰上由冷卻水冷卻的泵壁，凝結為液體，流回蒸發(fā)器，即靠油的蒸發(fā)——噴射——凝結，重復循環(huán)來實現(xiàn)抽氣的。
4、低溫冷凝泵：它是利用低溫表面來凝聚氣體分子以實現(xiàn)抽氣的一種泵，是目前獲得極限真空高，抽速大的抽氣泵。
三、真空測量部分
真空計：真空計是真空鍍膜機器上的重要組成部分，它是檢測鍍膜機真空度的重要手段。真空計根據(jù)其工作原理可以分為真空計和相對真空計，真空計可以直接測量壓強的高低，相對真空計只能間接測量真空度。 人們于是按不同的原理和要求制成了許多種類的真空計。如熱偶計, 電離計,皮拉尼計等等。
四、Leybold萊寶、Edwards愛德華用于真空鍍膜機真空泵型號
Leybold萊寶單級旋片泵系列：SV10B,SV16B,SV25B,SV40B,SV65B,,SV100B,SV200,SV300B,SV470B(F),SV570B(F),SV630B(F),SV750B(F),SV120。
Leybold萊寶羅茨真空泵系列：WA/WAU251,WA/WAU501,WA/WAU1001,WA/WAU2001
Edwards愛德華雙級旋片泵系列：E2M18， E2M28， E2M30， E2M40， E2M80， E2M175、 E2M275
Edwards愛德華羅茨真空泵系列：EH250、EH500、EH1200， EH2600、EH4200
到今天，真空鍍膜機已經被廣泛應用，制鍍薄膜尤其廣泛，其制作的各種薄膜被應用到各光電系統(tǒng)及光學儀器中，如數(shù)碼相機、數(shù)碼攝像機、望遠鏡、投影機、能量控制、光通訊、顯示技術、干涉儀、人造衛(wèi)星飛彈、半導體激光、微機電系統(tǒng)、信息工業(yè)、激光的制作、各種濾光片、照明工業(yè)、傳感器、建筑玻璃、汽車工業(yè)、裝飾品、錢幣、眼鏡片等等，真空鍍膜機器已經與人類的生活緊密聯(lián)系。