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一、真空熱處理爐的真空系統(tǒng)，必須滿(mǎn)足下述三個(gè)基本要求：

1，能迅速將真空熱處理爐抽至所要求的極限真空度。

2，應(yīng)能及時(shí)地排出被處理工件和爐內(nèi)結(jié)構(gòu)件連續(xù)放出的氣體，以及因真空泄露而滲入爐內(nèi)的氣體。

3，使用操作、安裝、維修保養(yǎng)要簡(jiǎn)便，整個(gè)系統(tǒng)占地面積要小。

真空熱處理是真空技術(shù)與熱處理技術(shù)相結(jié)合的新型熱處理技術(shù)，真空熱處理所處的真空環(huán)境指的是低于一個(gè)大氣壓的氣氛環(huán)境，包括低真空、中等真空、高真空和超高真空，真空熱處理實(shí)際也屬于氣氛控制熱處理。真空熱處理是指熱處理工藝的全部和部分在真空狀態(tài)下進(jìn)行的，熱處理質(zhì)量大大提高。與常規(guī)熱處理相比，真空熱處理的同時(shí)，可實(shí)現(xiàn)無(wú)氧化、無(wú)脫碳、無(wú)滲碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脫脂除氣等作用，從而達(dá)到表面光亮凈化的效果。

二、真空系統(tǒng)的組成：

真空熱處理爐的真空系統(tǒng)，一般由真空泵、真空閥門(mén)、真空測(cè)量?jī)x表、冷阱、管道等部分組成，下面介紹幾種常見(jiàn)的真空系統(tǒng)。

1，低真空系統(tǒng)，適用于真空度在2-1333Pa范圍的真空熱處理爐，如遇抽井式真空爐多采用這個(gè)系統(tǒng),

2，具有機(jī)械增壓泵的真空系統(tǒng)，適用于真空度在1.33-3×10的負(fù)1Pa范圍的真空熱處理爐，真空淬火爐廣泛采用此系統(tǒng)。

3，高真空系統(tǒng)及帶有增壓泵的高真空系統(tǒng)，適用于真空度在1.3×10的負(fù)-2至6.6×10的負(fù)4Pa范圍的真空熱處理爐，真空退火爐、真空釬焊爐多采用此系統(tǒng)。

三、真空熱處理爐的真空泵選擇：

1、采用油擴(kuò)散泵(或增壓泵)的真空系統(tǒng)，工作時(shí)先開(kāi)動(dòng)旋轉(zhuǎn)泵預(yù)抽真空，當(dāng)達(dá)到擴(kuò)散泵或增壓泵大反壓強(qiáng)時(shí)。油擴(kuò)散泵才能投入工作。

2、采用旋轉(zhuǎn)泵、油擴(kuò)散泵和增壓泵組成的真空系統(tǒng)時(shí)，工作時(shí)先用旋轉(zhuǎn)泵預(yù)抽真空，再用增壓泵抽中真空，當(dāng)大部分氣體去除后.擴(kuò)散泵再投入工作。