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【技術(shù)】線色譜傳感器—高速下的高精度
閱讀：2337 發(fā)布時(shí)間：2020-3-12
WERTH為2017年Control展隆重推出研發(fā)的傳感器系列：線色譜傳感器（Chromatic Focus Line Sensor, CFL）。其可以快速采集整個(gè)零件的幾何形狀。通過選用不同的物鏡，調(diào)節(jié)測(cè)量誤差和測(cè)量范圍來適應(yīng)各種應(yīng)用需求。通過大的軸向測(cè)量范圍，不需要針對(duì)零件幾何形狀的可控的補(bǔ)充。以便通過掃描，快速并大面積獲取零件幾何形狀。針對(duì)表面有明顯高度變化的零件可以采用3D仿樣進(jìn)行掃描。線色譜傳感器可以用于測(cè)量漫反射、鏡面和透明零件以及有較大傾斜角的零件表面。
CFL在零件表面投影一排約200個(gè)白色光點(diǎn)。從零件表面反射回的光線將通過光譜分析，確定傳感器和零件表面之間的距離。通過新的線傳感器*次實(shí)現(xiàn)了高速并且高精度地、完整地采集零件3D數(shù)據(jù)。僅僅用3秒鐘就能夠測(cè)量100萬個(gè)測(cè)量點(diǎn)。
線色譜傳感器還具有另一個(gè)有趣的功能：反射回的光的波長(zhǎng)強(qiáng)度被分析評(píng)估，并創(chuàng)建零件表面的柵格圖像。其后續(xù)的分析評(píng)估允許通過圖像處理軟件“在圖像內(nèi)”確定零件坐標(biāo)系或者測(cè)量幾何特征。在此基礎(chǔ)上，由于位置的確定，可以不需要傳感器轉(zhuǎn)換就使用各種其他傳感器進(jìn)行測(cè)量。
在快速的測(cè)量速度下，CFL的測(cè)量度允許測(cè)量精密零件和微特征。該傳感器不僅可以用于鏡面或者透明零件如沖壓印?；蛘哂操|(zhì)合金及金剛石刀具的測(cè)量，也可以用于漫反射的塑料零件的測(cè)量。通過高點(diǎn)密度來確定不同表面的形貌。例如微機(jī)械零件手表表盤。CFL的另一個(gè)典型應(yīng)用是在半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，在生產(chǎn)工序中，對(duì)于LED陣列的共面的測(cè)量。作為測(cè)量結(jié)果，是以點(diǎn)云的形式體現(xiàn)零件表面的完整形狀，借此測(cè)量平面度或者粗糙度以及幾何元素。也可以用顏色編碼顯示出理論實(shí)際值偏差。
線色譜傳感器測(cè)量的點(diǎn)云數(shù)據(jù)和CAD模型的顏色編碼偏差顯示
手表表盤的柵格圖像