技術(shù)參數(shù)

1、裝置極度限真空度10Pa

2、裝置年泄漏率小于1%

3、噪聲：小于75dB

4、充氣系統(tǒng)壓力小于1Mpa

5、環(huán)境溫度：-30℃±45℃

6、電源：交流三相50Hz，380伏±1C%，功率、3KW

7、外形尺寸：（長(zhǎng)×寬×高）930×730×800、

保養(yǎng)、維修

A、定期檢查

1.每日檢查：
a：檢查油位：油量過多會(huì)使溫度升高，油量過少會(huì)造成潤(rùn)滑不良；
b：檢查溫度：SF6氣體抽真空充氣裝置臺(tái)抽氣速率≥45L/用溫度計(jì)檢查泵各部位的溫度；
c：檢查電動(dòng)機(jī)負(fù)荷：用功率表或電流、電壓表測(cè)量電動(dòng)機(jī)負(fù)荷。
2．每月檢查：
聯(lián)軸器及墊片是否損壞或松動(dòng)。
3．每三個(gè)月檢查：
齒輪箱內(nèi)潤(rùn)滑油是否變質(zhì)。
4．每六個(gè)月檢查：
a：前蓋軸承箱內(nèi)潤(rùn)滑油是否變質(zhì)；
b：油封是否磨損；
5．每年檢查：
a：軸承是否磨損；
b：活塞環(huán)及活塞環(huán)襯套是否磨損；
c：齒輪的微量磨損對(duì)轉(zhuǎn)子正常運(yùn)轉(zhuǎn)是否產(chǎn)生影響，是否需要調(diào)整。

B、拆裝：

在進(jìn)行真空泵的拆卸和重新裝配時(shí)，必須根據(jù)以下順序進(jìn)行：
1．未拆卸前，應(yīng)先測(cè)量并記錄轉(zhuǎn)子各部分的間隙。
2．盡量避免用重錘敲擊，拆下的零件不得碰傷，應(yīng)妥善保管好。
3．將需要更換的零部件的更換原因和使用情況詳細(xì)記載下來。
4．重新裝配前必須把各零部件清洗干凈，毛刺修盡。
5．無密封墊襯或密封圈的靜密封面用“106”有機(jī)硅橡膠涂料均勻涂抹；用于靜密封的橡膠密封件應(yīng)涂上真空考克脂。
6．根據(jù)間隙一覽表（表4）SF6氣體抽真空充氣裝置臺(tái)抽氣速率≥45L/調(diào)整轉(zhuǎn)子各部分的間隙。
7．全部裝好后須進(jìn)行檢漏。
8．重新裝配后須進(jìn)行試運(yùn)轉(zhuǎn)和必要的性能測(cè)試，待正常后方能投入使用。