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SM930 系列可供多種手動操作人員和氣動執(zhí)行器使用。提供良好的可靠性、泄露完整性和潔凈性，使其成為UHP超高純半導體模塊化貼面安裝系統(tǒng)應用的理想選擇。
產(chǎn)品簡介
詳細介紹
parker派克超純隔膜閥 UHP 超高純貼面安裝隔膜閥 – 手動或氣動 (真空 - 250 psig) – SM930 系列 | #SM930KS102VESP OBSOLETE
SM930 系列可供多種手動操作人員和氣動執(zhí)行器使用。提供良好的可靠性、泄露完整性和潔凈性，使其成為UHP超高純半導體模塊化貼面安裝系統(tǒng)應用的理想選擇。
物品信息
派克SM90系列貼面安裝不銹鋼閥體隔膜閥(1-1/8
和 1-1/2
閥體尺寸) 提供優(yōu)異的泄露完整性、高循環(huán)壽命和低粒子生成，使其UHP超高純半導體應用的理想選擇 (1-1/8 and 1-1/2 inch body sizes) 。
SM930系列與工藝流體接觸部分無螺紋或彈簧，大限度地減少粒子生成和氣體截留，減少對半導體應用關重要的過程污染。閥門的嚴格設計控制閥座和膜片應力，提供穩(wěn)定和無需維護使用壽命。SM930系列接液部件由特殊金屬制備，提供優(yōu)異的耐腐蝕性和泄露完整性。閥體為內(nèi)部電解拋光Vericlean™ 316L不銹鋼。Vericlean™ 是派克的UHP超高純級不銹鋼。隔膜材料為高強度鈷基合金。SM930系列同時提供PCTFE, PEEK® 和Vespel® 閥座材料，允許SM930與多種工藝流體兼容。這些材料由SM955系列嚴格設計組成，使SM930系列具有強耐腐蝕性和更高循環(huán)壽命，入口壓力高達250 psig.
SM930系列氣動閥可配套限位開關或接近開關提供開-關位置指示。也有多種閥體結構，包括930Y（Y閥）和930（面密封和短管接口）.
SM930系列閥門的內(nèi)部（閥座）密封和金屬外部密封通過氦泄漏測試，使用質譜儀達到在苛刻超高純應用中的性能和穩(wěn)定性.
市場:
• 半導體
• 分析試驗室
• 制藥
• 生物制藥
• 航空航天
• 工業(yè)
parker派克超純隔膜閥特點/優(yōu)勢:
• 有C和W密封貼面安裝1-1/8
和1-1/2
閥體尺寸
• 5微英寸(Ra粗糙度)電拋光表面處理
• 高循環(huán)壽命(包括腐蝕性工礦)
• 內(nèi)部無彈簧無螺紋，大限度地減少粒子生成和氣體截留
• 壓力范圍：真空到250 psig
• 內(nèi)漏率:≤ 1 x 10-9 立方厘米/秒 He
• 外漏率:≤ 2 x 10-10 scc/sec立方厘米/秒 He
• 常規(guī)氣動動作壓力75 psig
應用:
• 腐蝕性和特殊氣體
• 半導體工具
• 工具掛鉤
• 氣體柜
• 閥組箱 (VMB)