美國Angstrom Sciences 圓柱形磁控濺射陰極
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美國Angstrom Sciences 圓柱形磁控濺射陰極
Angstrom Sciences 為幾乎所有標準濺射工藝提供先進的磁控管。但我們知道，每個應用程序都是不同的。這就是為什么我們開發(fā)了一種模塊化方法，專門適應您的規(guī)格。
圓柱形磁控管長期以來一直受到玻璃鍍膜行業(yè)的信賴，可以在最大限度地提高目標利用率的同時創(chuàng)造均勻的薄膜。現(xiàn)在，Angstrom Sciences 創(chuàng)造了一種緊湊、輕便且經濟的圓柱形磁控管，專門設計用于為平板顯示器、太陽能電池和網絡涂層應用提供這些相同的優(yōu)勢
定制設計
可使用直徑為 3″ (75mm) 或 5″ (125mm) 的背管，長度可達 4 米，并且具有最小的源到源間距，可提供插入式和側面安裝的完整組件 多個串聯(lián)陣列可用于緊湊型高通量生產系統(tǒng)。
經濟且兼容的投資
ONYX-Revolution™ 采用通用且具有成本效益的磁鐵設計和定制的周轉，以適應任何目標類型。而且，它采用現(xiàn)成的組件設計，以實現(xiàn)低成本、長期投資和可靠性。
技術
Angstrom Sciences 的異形磁體技術在源和基板之間創(chuàng)建了更接近正常的沉積輪廓。改進的沉積輪廓減少了腔壁上的碎屑堆積。
此外，Angstrom Sciences 的磁體陣列提供更高的磁場強度，允許用戶以更低的功率運行濺射工藝以實現(xiàn)典型的沉積速率。
轉換儲蓄
本質上，圓柱形磁控管可以容納的目標材料量是具有相同空間面積的平面磁控管的三倍。Angstrom Sciences 的 ONYX-Revolution™ 進一步優(yōu)化了材料投資，目標利用率高達 85%。此外，在較低功率水平下運行可節(jié)省 20% 的典型功率。
美國Angstrom Sciences 圓柱形磁控濺射陰極
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