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關(guān)于評(píng)價(jià)薄膜的物理強(qiáng)度的方法

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關(guān)于評(píng)價(jià)薄膜的物理強(qiáng)度的方法

我們將介紹用于評(píng)估薄膜的附著力和摩擦磨損的各種測試方法的概述,適用的標(biāo)準(zhǔn)以及Resca

已將其制成設(shè)備的相關(guān)測試機(jī)。

由于材料和產(chǎn)品的表面容易受到外部機(jī)械刺激,因此通常會(huì)形成保護(hù)涂層或PVD / CVD膜。

這些保護(hù)膜需要足夠強(qiáng)的物理強(qiáng)度以不受這些外部因素的影響,以便保護(hù)基板不受外部因

素的影響。根據(jù)這些物理強(qiáng)度,我們將報(bào)告膜與基材之間的粘附強(qiáng)度(粘附力)和摩擦磨

損的評(píng)估方法。

附著力(附著力)

粘附力是指薄膜原子與發(fā)生在界面上的基底原子之間的相互作用。
Fowkes的近似公式如下所示,該公式通過薄膜的表面自由能和基板的表面自由能來表示

該界面處的自由能。

 

粘接強(qiáng)度(粘接強(qiáng)度)評(píng)價(jià)方法

作為評(píng)價(jià)膜的密合性(密合性)的方法,通常使用格網(wǎng)試驗(yàn)(劃格法),拉伸試驗(yàn),剝離法,刮擦法。除這些測量方法外,薄膜的微劃痕法的測量范圍如下所示。

進(jìn)行木板測試(橫切法)

符合JIS K5600(通用油漆測試方法)和JIS D0202(用于汽車零件的通用涂層方法)。使用
鋒利的刀片在薄膜表面上形成幾毫米見方的網(wǎng)格狀缺口,粘貼膠帶。該方法是將粘貼在膠帶上的薄膜的小面的數(shù)量作為剝離膠帶時(shí)的粘合強(qiáng)度的指標(biāo)(粘合強(qiáng)度/粘合強(qiáng)度)的方法。定量評(píng)價(jià)是困難的,并且其不能應(yīng)用于粘合強(qiáng)度(粘合強(qiáng)度/粘合強(qiáng)度)高于膠帶的粘合強(qiáng)度的膜。

拉伸試驗(yàn)

垂直將桿粘附到已制成的膜上,然后垂直拉動(dòng)桿(直接剝離方法),向側(cè)拉桿(拉動(dòng)方法),或扭轉(zhuǎn)桿(扭曲方法),這樣做會(huì)剝?nèi)ケ∧げ⑿枰┘恿υ谀莻€(gè)時(shí)候就獲得了。粘接強(qiáng)度(f)由下式算出,作為由所獲得的力(F)作用在膜界面上的大應(yīng)力。(桿的半徑為r,桿的高度為h)

  • 直接剝離法(f = F /πr2)
  • 拉動(dòng)方式(f = 4Fh /πr3)
  • 扭轉(zhuǎn)法(f = 3F /2πr3)

同樣在該評(píng)估方法中,必須將桿粘合到膜上,并且不能像網(wǎng)格剝離法那樣將其施加到具有比粘合劑高的粘合強(qiáng)度的膜上。

 

超薄劃痕儀的測量原理

此評(píng)估方法采用刮擦法,這是對(duì)高粘附性(粘附力/粘附力)薄膜和1μm或更小的薄膜(例如光學(xué)或集成電路的薄膜以及磁盤的保護(hù)膜)的有效測量方法。這是目標(biāo)評(píng)估方法。該評(píng)估方法中的測量原理與上述刮擦方法相同,但是其特征在于檢測斷裂的方法和增加負(fù)荷的方法。在刮擦法中,使用了稱重傳感器(摩擦力)和傳聲器(聲音)作為檢測斷裂的方法,但是隨著膜厚度變薄,由于斷裂而產(chǎn)生的摩擦力和聲音的變化會(huì)變得很小,因此本次評(píng)估方法采用了*不同的檢測器。(圖2)在整個(gè)傳感器沿X軸方向以30Hz激勵(lì)的情況下,將固定在尖duan的壓頭壓在薄膜表面上。此時(shí),盒體和壓頭之間的相對(duì)位置由于在壓頭和膜表面之間產(chǎn)生的摩擦力而改變,并且產(chǎn)生與該摩擦力成比例的電壓信號(hào)。另外,作為增加將壓頭壓在膜表面上的負(fù)荷的方法,使被測量物體傾斜并在Y軸方向上移動(dòng),使壓頭升高,并且將壓頭安裝在被測物體上。通過手臂(彈簧)測量,施加垂直載荷。隨著垂直負(fù)載的增加,電壓信號(hào)也會(huì)增加,并且當(dāng)達(dá)到臨界負(fù)載時(shí),薄膜會(huì)破裂。通過導(dǎo)致電信號(hào)變化的受損表面的不平坦來檢測斷裂點(diǎn)。

 

粘接測試儀

PTR1102

測量引線鍵合和雙鍵合期間的鍵合強(qiáng)度。
可以執(zhí)行符合MIL STD-883D / JIS Z 3198的測量。拉份額,皮模份額可以用這一單位來測量。
測量安裝板上的焊點(diǎn)強(qiáng)度。
可以根據(jù)JEITA ET-7403 / ET-7407 / ED-4703進(jìn)行測量。可以評(píng)估單個(gè)BGA球的接頭強(qiáng)度。

聯(lián)合強(qiáng)度測試儀

PTR1102

測量安裝板上的焊點(diǎn)強(qiáng)度。可以根據(jù)JEITA ET-7403 / ET-7407 / ED-4703進(jìn)行測量。
可以評(píng)估單個(gè)BGA球的接頭強(qiáng)度。
*由于模型集成,移至粘合測試儀頁面。

焊錫潤濕性測試儀

5200TN

評(píng)估電子元件和焊料的潤濕性。
可以根據(jù)IEC 60068-2-54,IEC 60512-12-7和IPC J STD-002 / 003進(jìn)行測量。
0402芯片零件可以評(píng)估。

焊錫潤濕性測試儀

5200高級(jí)

這是一款超靈敏的潤濕性測試儀,旨在評(píng)估變得越來越小的電子元件的焊料潤濕性。
我們針對(duì)潤濕力檢測靈敏度和時(shí)間軸響應(yīng)靈敏度提出了世界上z高的靈敏度機(jī)器。

焊錫潤濕性測試儀

5200ZC

這是一臺(tái)高性價(jià)比的機(jī)器,專門從事錫浴平衡方法。
無需PC即可進(jìn)行測量。
此外,通過連接到PC,可以使用5200TN等效軟件來實(shí)現(xiàn)符合標(biāo)準(zhǔn)的波形分析。

熱導(dǎo)率測量裝置

TCM1001

可以通過單向熱流穩(wěn)態(tài)法進(jìn)行符合JIS H 7903的測定。
它用于評(píng)估導(dǎo)電膠和散熱片的熱導(dǎo)率。

劃痕測試儀

CSR1000

測量鍍層和硬涂層的粘合強(qiáng)度。當(dāng)施加大30 kg的負(fù)載時(shí),可以進(jìn)行劃痕測量。
可以執(zhí)行符合ISO 20502的測量。
用于評(píng)估DLC,TiN等。

超薄劃痕儀

CSR5100

測量薄膜的粘合強(qiáng)度。可以執(zhí)行符合JIS R 3255的測量。
用于評(píng)估DLC,ITO,ZnO,SiO,SiN等。它用于評(píng)估光學(xué)薄膜,記錄盤,半導(dǎo)體等。

摔角手

FPR2200

根據(jù)由于磨損而導(dǎo)致的動(dòng)摩擦系數(shù)變化來評(píng)估滑塊的數(shù)量。
可以執(zhí)行符合ISO 18535的測量。
可以評(píng)估應(yīng)用于涂料和涂料等材料表面的處理。

動(dòng)態(tài)潤濕性測試儀

6200TN

評(píng)估液體和固體的潤濕性。可以動(dòng)態(tài)地測量潤濕度,例如潤濕時(shí)間的變化和動(dòng)態(tài)接觸角。
還可以評(píng)估木材,纖維和多孔材料的滲透性。

熱浸鍍鋅模擬器

高密度聚乙烯

可以在實(shí)驗(yàn)室規(guī)模上模擬熱浸鍍鋅過程。
也可以模擬在高強(qiáng)度鋼板上的電鍍。各種預(yù)處理和后處理都是可能的。

粘性測試儀

TAC1000

在控制溫度(-20至230度)的同時(shí)評(píng)估微小的粘合強(qiáng)度。可以在與樣品同時(shí)加熱探頭的同時(shí)進(jìn)行測量。
可以執(zhí)行符合JIS Z 3284 / IPC SP-819的測量。它用于測量橡膠,壓縮物,印刷品等。

疏水性粉末潤濕性測試儀

WET1001

測量顆粒物的潤濕性。
介紹一種疏水性粉末潤濕性測試儀,該測試儀可測量粉末材料(例如藥品和顏料)的臨界潤濕張力,并考慮其分散性和表面能。用于評(píng)估復(fù)印機(jī)碳粉,顏料,二氧化硅等。

 

 

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