日本stil雙重技術(shù)光譜共焦點(diǎn)傳感器STIL-DUO

STIL DUO ---雙重技術(shù)“點(diǎn)”傳感器

Ø *yi個提供兩種同時測量技術(shù)的系統(tǒng)：光譜共焦原理 和 具備原始共焦設(shè)置的白光干涉原理。
Ø STIL的光譜共焦原理可測量范圍從130µm到42mm。非常適用于粗糙度和表面形貌測量，在任何類型的材料上都可獲得非常高的精que度，無論是反射還是散射。測量符合新ISO25178標(biāo)準(zhǔn)。
Ø STIL的共焦光譜干涉測量法，可獲得亞納米分辨率（<1nm）的厚度和形貌測量結(jié)果，可在大于100µm的測量范圍內(nèi)進(jìn)行測量，且樣品的小可測厚度為0.4µm。
Ø 完美適用于工業(yè)環(huán)境，許多輸入和輸出以及軟件開發(fā)套件，接口非常簡單。?

1. l 白光光譜干涉模式

- 振動不敏感（OPILB-RP光學(xué)筆）

- 高信噪比（OPILB-RP光學(xué)筆）

- 不需垂直掃描

- 小可測厚度0.4µm

- 光學(xué)原理固有的亞納米分辨率

- 共焦使相鄰點(diǎn)之間無干擾，

- 厚度測量上具有卓yue性能（0.3nm分辨率，10nm精度

1. l 光譜共聚焦模式

- 使用Multipeak軟件進(jìn)行多層樣品測量

日本stil雙重技術(shù)光譜共焦點(diǎn)傳感器STIL-DUO

參數(shù)

Ø *yi個提供兩種同時測量技術(shù)的系統(tǒng)：光譜共焦原理 和 具備原始共焦設(shè)置的白光干涉原理。
Ø STIL的光譜共焦原理可測量范圍從130µm到42mm。非常適用于粗糙度和表面形貌測量，在任何類型的材料上都可獲得非常高的精que度，無論是反射還是散射。測量符合新ISO25178標(biāo)準(zhǔn)。